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  渦輪分子泵是利用高速旋轉的動(dòng)葉輪將動(dòng)量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動(dòng)而抽氣的真空泵。渦輪分子泵廣泛用于高能加速器、可控熱核反應裝置、重粒子加速器以及真空鍍膜等需要獲得高真空度制造工藝中
一：結構組成
   渦輪分子泵主要由泵體、帶葉片的轉子(即動(dòng)葉輪)、靜葉輪和驅動(dòng)系統等組成。
二：優(yōu)缺點(diǎn)
  渦輪分子泵優(yōu)點(diǎn)有：(1)清潔，無(wú)油蒸汽返流；(2)使用方便；(3)氣體輸送能力強；(4)適于超高真空應用；(5)高壓力下性能良好；6)循環(huán)的時(shí)間短；(7)正常使用時(shí)間長(cháng)
 渦輪分子泵缺點(diǎn)：(1)設備費用高；(2)對顆粒物或沉積物敏感；(3)噪音與振動(dòng)；(4)破碎問(wèn)題；(5)暴露大氣易引起事故