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廣州潽拓光電——

德國 Pfeiffer Vacuum 普發(fā)真空

分子泵 Hipace 80/TMH 071 系列的工作原理

設計/工作原理

普發(fā)真空于 1958 年由 W. Becker 博士開(kāi)發(fā)渦輪分子泵并獲 得專(zhuān)利。渦輪分子泵屬于動(dòng)能

真空泵的范疇。它們的設計類(lèi) 似于渦輪機的設計。多級、具有葉盤(pán)的渦輪狀轉子在殼體內 旋

轉。渦輪機或壓縮機的葉片被統稱(chēng)為葉片裝置。轉子盤(pán)之 間插入的倒置鏡是具有類(lèi)似幾何

形狀的葉片定子盤(pán)。

軸承

通過(guò)兩個(gè)球軸承安裝渦輪分子泵轉子軸需要將兩個(gè)球軸承都 安排在前真空側，因為軸承中

有潤滑劑。這導致轉子憑借其 較大質(zhì)量產(chǎn)生的單邊（懸臂）支撐

電動(dòng)機/驅動(dòng)器

能夠提供旋轉頻率高達 1，500 Hz (90，000 rpm) 的無(wú)刷直流電 動(dòng)機用于驅動(dòng)轉子。這使得葉

片速度是泵送氣體所必需的。

如今，驅動(dòng)器通常都是直接連接到泵上。電源是 24、48 或 72 伏的直流電，通過(guò)外部電源

包或集成在泵的電子單元中的 電源包產(chǎn)生電流

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ULVAC分子泵的特性：

-優(yōu)xiu的防腐表面處理（不含3303跳頻和6300fh）?？蛇x的特殊表面處理

-可安裝的在所有的方向

-內置監控/自我診斷和通信功能啟用配置集中監控系統

-維護穩定的泵性能對改變背壓（FH系列）

-可選的內部加熱系統控制轉子溫度和減少粘連得副反應副產(chǎn)品（FW系列）

-安全設計與斷裂能量吸收結構可以減少po壞這空系統當麻煩發(fā)生在泵

-高耐用性和可靠性高，通過(guò)實(shí)驗實(shí)現了諸如空氣涌入測試、各種接觸下來(lái)測試強制po壞測試轉子和異wu跌落測試

-變速系統標志著(zhù)它可能改變抽運速率在響從25%通過(guò)100%

-沒(méi)有限制任何電源，結合泵主要單位改變電纜長(cháng)度因為使用耦合自由系統和調優(yōu)自由系統

-自我發(fā)電的可再生能源是用來(lái)備份電源斷電時(shí)通過(guò)使用黃油免費系統。

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優(yōu)點(diǎn) 10 毫巴以上與氣體類(lèi)型無(wú)關(guān) – 允許用任何混合氣體安全放空 在大氣壓下和重復性 – 用于可靠的大氣壓強檢測 快速大氣壓檢測 – 無(wú)需等待時(shí)間和縮短過(guò)程周期 任意的安裝方位 –