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廣州潽拓光電科技有限公司--愛(ài)發(fā)科渦輪分子泵葉片破碎維修；

渦輪分子泵的特點(diǎn)很多，但是隨著(zhù)我國機械、、電子、化工等領(lǐng)域的高速發(fā)展，渦輪分子泵想要擴大它的市場(chǎng)占有率，其需要克服的難題還有很多。這些不僅僅需要人士的專(zhuān)研，同時(shí)也需要各界的共同努力，對渦輪分子泵特點(diǎn)的進(jìn)一步研究，相信在未來(lái)是個(gè)值得突破的課題。

典型的渦輪分子泵抽氣系統 ，抽氣系統設置分開(kāi)的粗抽管道和前級管道，這種系統和常用的擴散泵抽氣系統類(lèi)似，其粗抽管道和前級管道的基本配置與擴散泵不同。擴散泵的正常運轉要求前級泵具有足夠大的抽速，以便在很大排氣量時(shí)前級壓力能低于臨界前級壓力，在渦輪分子泵抽氣系統中，要選擇具有足夠容量的前級泵，使很靠近前級管道的葉片在很大排氣量時(shí)處于分子流或者正好處于過(guò)渡流。

大多數渦輪分子泵的很大穩態(tài)進(jìn)氣口壓力P1在0.5~1Pa之間，而很大前級壓力P2約為30Pa。因為排氣量為一常數，即P1S1=P2S2，   （1）式（1）表明，渦輪分子泵抽速和前級泵抽速之S1/S2比應該在30到60的范圍內，對于很大的對氫壓縮比小于500的泵來(lái)說(shuō)，其級配比應該為20：1。1-渦輪分子泵；2-液氮冷阱；3-放氣閥；4-電離規；5-熱傳導規；6-粗抽閥；7-機械泵；8-前級管路閥；9-高真空閥。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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渦輪分子泵的工作特性主要表現在以下幾個(gè)方面：

（1）抽速與轉速的關(guān)系抽速與轉速之間的關(guān)系大致為S（4-67）。其中：g是由幾何形狀決定的常數；u是活動(dòng)刀片的轉速。隨著(zhù)速度的增加，泵送速度比直線(xiàn)略慢。這可以通過(guò)在抽速較高時(shí)對進(jìn)氣管電導率的限制來(lái)解釋。根據（4-66），隨著(zhù)S1的增加，S將偏離直線(xiàn)。

（2）泵送速度與入口壓力之間的關(guān)系在分子流的壓力范圍內，分子泵的泵送速度幾乎沒(méi)有變化。因為分子電導C與分子流動(dòng)過(guò)程中的壓力無(wú)關(guān)；根據公式（4-65），S1僅確定葉片形狀，速度和氣體類(lèi)型，并且與壓力無(wú)關(guān)。因此，根據公式（4-66），實(shí)際抽速與壓力無(wú)關(guān)。但是，當增加壓力以不滿(mǎn)足分子流動(dòng)條件（大約2×101Pa）時(shí)，由于大多數分子無(wú)法直接與葉片碰撞，因此泵速會(huì )迅速降低。如圖4-62的右側所示，曲線(xiàn)1、2和3對應于壓縮比與不同前級泵

（3）的速度和相對分子質(zhì)量之間的關(guān)系。壓縮比與速度的平方根和相對分子質(zhì)量成指數關(guān)系（G（4-68在公式中，G是由幾何形狀確定的參數。測量結果與公式基本一致。圖4-63顯示壓縮比，其中：p代表前級泵端口的壓力和力，代表分子，泵的入口壓力，在相同速度下，大的氣體分子具有大的壓縮比，高的極限真空，輕質(zhì)氣體成分，壓縮比小，極限真空低，即輕質(zhì)分子主要處于分子泵的極限真空中；除去氫，氦等輕質(zhì)分子的能力較弱。重量具有較高的壓縮比，這是渦輪分子泵可用于獲得清潔真空的物理基礎

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渦輪分子泵的工作原理，結構型式及其優(yōu)缺點(diǎn)。

為了利用渦輪分子泵，獲得清潔真空，國外多利用干式機械泵作其前級泵，構成無(wú)油的真空系統。然而，目前國內渦輪分子泵多以油封機械泵為其前級泵，構成了有油真空系統，如果操作不當，很難避免油蒸汽返流，對真空系統的污染。利用有油系統獲得清潔真空，國內外都有一些有效防止返流的措施和成功的操作經(jīng)驗。

應用：當今，現代化的半導體行業(yè)中，越來(lái)越多地應用渦輪分子泵。如濺射、刻蝕、蒸發(fā)、注入、分子束外延、離子加工等設備都需要在真空環(huán)境下運行。又如電子顯微鏡，表面分析儀器，殘余氣體分析儀及氦質(zhì)譜檢漏儀等也經(jīng)常使用渦輪分子泵來(lái)抽真空。此外，在宇宙模擬設備、核聚變裝置、太陽(yáng)能集熱管鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)上也都改用大型渦輪分子泵或低溫泵來(lái)代替油擴散泵系統，以防止油蒸汽的污染。

因此，很近十幾年來(lái)，渦輪分子泵，在國內、外都得到了顯著(zhù)的改進(jìn)和發(fā)展。在渦輪分子泵的應用日益增加干式的前級泵還沒(méi)有大量普及和應用的情況下，有時(shí)還不得不用油封機械泵來(lái)作渦輪分子泵的前級泵。因此，針對這種現狀，對渦輪分子泵的合理選用和正確操作是很重要的。

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