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廣州潽拓光電科技有限公司--inficon檢漏儀維修；

inficon真空緊湊型的校準泵組就能夠組建起這樣一個(gè)系統。譜拓認為這個(gè)易于使用的便攜式系統是專(zhuān)為同時(shí)在線(xiàn)進(jìn)行多個(gè)儀器檢測而量身定做的。其系統具有使用便捷、快速及符合人體工學(xué)標準的特點(diǎn)。

校準要求

在進(jìn)行校準前，必須滿(mǎn)足如下條件：

■系統極限壓力ρE必須超過(guò) 很小校準壓力ρmin的50倍

(ρE≤ρmin/50)

■環(huán)境溫度必須恒定(±1°C)

■校準系統必須熱穩定

■標準真空計和其他真空計在測量時(shí)真空度必須穩定

inficon真空解決方案

inficon真空提供了一套緊湊、便攜的泵組用于校準。這套泵組由一套渦輪分子泵組(例如，HiCube80Eco)和一個(gè)采用玻璃珍珠噴沙工藝的不銹鋼腔體組成。

渦輪分子泵組由一個(gè)帶Holweck級的(HiPace80)渦輪分子泵和一款干式壓縮隔膜泵(MVP015-2)組成。這款泵組的抽速 很高可達67l/s并且 很終真空度可達110-7 hPa。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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為了校準裝置的后續發(fā)展，具備更多功能，要保證裝置具有拓展功能接口。研發(fā)人員采用在裝置中預留通用真空接口的方式，方便后續產(chǎn)品組合，拓展新的功能，如拓展漏孔校準、檢漏等功能。通過(guò)真空事業(yè)部多年來(lái)的不斷攻堅克難，大膽創(chuàng )新，目前研制成功的便攜式真空計校準裝置在設備外觀(guān)、客戶(hù)界面及操作使用上更加美觀(guān)合理，具備體積小、易攜帶，不受環(huán)境、空間等因素影響，隨時(shí)隨地都可進(jìn)行校準使用，

同時(shí)還具備拓展功能接口，便于拓展漏孔校準、檢漏等功能，解決了長(cháng)期以來(lái)真空校準裝置笨重無(wú)法攜帶到現場(chǎng)只能在實(shí)驗室校準的技術(shù)難題，實(shí)現了現場(chǎng)真空計的準確校準。使用便攜式真空計校準裝置“小尺子”都出現在什么地方？便攜式真空計校準裝置自研制代至今，近幾年來(lái)，產(chǎn)品得到國內外30多家單位的應用。

“小尺子”發(fā)揮著(zhù)“大作用”，在嫦娥系列月球探測器、火星探測器、空間站、北斗導航等重大航天型號任務(wù)的研制試驗及發(fā)射中得到了極大應用；在芯片、行波管、高大上電氣、真空器件、高精度時(shí)鐘、電池等生產(chǎn)過(guò)程/生產(chǎn)設備的定期校準中也發(fā)揮著(zhù)重要作用；同時(shí)，在航空發(fā)動(dòng)機、火箭、等的試驗與生產(chǎn)，特種鋼材冶煉、高純度氣體制備、裝備生產(chǎn)現場(chǎng)都曾出現便攜式真空計校準裝置的小身影。

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DL-10A的校準曲線(xiàn)如下所示：▲DL-10A校準曲線(xiàn)橫坐標是中國計量院科學(xué)院測量標準值，氣樣是氮氣?？v坐標是DL-10A顯示值。DL-10A的下限決定于Z0隨時(shí)間漂移帶來(lái)的誤差。它主要決定于晶振的結構以及環(huán)境溫度的變化。PART 02石英真空計性能

●石英真空計的精度較高，用音叉結構的晶振安裝在穩定溫度的金屬柱上，在0.01Pa~105Pa之間測量誤差為±10%。在真空計上限附近，即接近大氣壓經(jīng)過(guò)調整后誤差較小可做到3%。隨著(zhù)壓強的減小，誤差會(huì )增大。在真空計的下限誤差較大。

▲DL-10A在中國計量科學(xué)院校準氮氣結果

●石英真空計讀數與氣體種類(lèi)有關(guān)，不同氣體的相對壓強讀數也不同。下圖采用的基準氣體為氮氣，測量不同氣體時(shí)，應對該氣體進(jìn)行修正?！煌瑲怏w的壓強讀數

●環(huán)境溫度的變化會(huì )影響石英真空計的讀數，在高壓強不會(huì )引起很大誤差，但在接近下限，會(huì )引起很大的誤差。這主要體現在晶體的固有阻抗Z0隨溫度變化。

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