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廣州潽拓光電科技有限公司

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  • 主營(yíng)產(chǎn)品:分子泵控制器,真空分子泵,AE電源,真空油泵,真空系統
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inficon電容薄膜真空計作為inficon電容式傳感器的一種,能夠滿(mǎn)足深空探測、空氣動(dòng)力學(xué)研究、臨近空間探索等領(lǐng)域對真空測量?jì)x器測量準確度高、體積小、質(zhì)量輕、功耗低的應用需求,具有廣泛的應用前景。inficon電容薄膜真空計包含真空規管和測量電路兩個(gè)部分。其中,真空規管將真空度轉化成電容量,測量電路對電容量進(jìn)行處理得到真空度的值。



inficon電容薄膜真空規管初始電容量的范圍為幾到幾十皮法,其電容變化量為幾飛法甚至更小。inficon電容薄膜真空規管的敏感電容具有不同結構,包括單側電極結構、雙側電極結構以及靜電力平衡結構,不同結構的敏感電容其電容變化量不同。另外,inficon電容薄膜真空計要求測量電路功耗低、易集成,考慮到寄生電容和電磁干擾及溫度的影響,準確測量inficon電容薄膜真空規管的微小電容是一個(gè)難題。



針對不同結構的敏感電容,提出了多種微小電容測量方法。1.單側電極微小電容測量敏感電容為單側電極的inficon電容薄膜真空規管結構簡(jiǎn)單,在inficon制造及封裝工藝下易于實(shí)現。如圖1所示,感壓薄膜上的電極與硅基底上的電極組成了一個(gè)隨真空度變化而變化的敏感電容。由于只存在單一的敏感電容,測量電路中往往需要引入一電容值與敏感電容初值相等的固值參考電容。

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inficon技術(shù):(1)從微機電系統(inficon)發(fā)展到納機電系統(NEMS)的啟示;(2)inficon加速度計、陀螺儀及組合式慣性傳感器技術(shù)及應用;(3)光學(xué)傳感器和氣體傳感器技術(shù)及應用;(4)inficon諧振器和振蕩器技術(shù)及應用;(5)inficon制造工藝;(6)inficon封裝技術(shù);(7)inficon產(chǎn)線(xiàn)參觀(guān)學(xué)習:蘇州inficon中試平臺和捷研芯量產(chǎn)封裝產(chǎn)線(xiàn)。 



上世紀50年代,D.J.Pacey研究用石英晶振測量氣體壓強。他采用雙三級管(電子管)做電路,其一側與晶振構成Pierce-Miller振蕩器,晶振置于被測氣體中作壓強傳感器。當氣體壓強變化時(shí),陽(yáng)極電流也隨之變化。據稱(chēng)該儀器可測105Pa到13.3Pa的壓強。



到了20世紀80年代,M.Ono等人設計了測量范圍從1.33Pa到大于105Pa的石英真空計。所用晶振為音叉結構,長(cháng)2.66mm,寬0.3mm,厚0.13mm,諧振頻率為32768Hz。儀器采用位相鎖定環(huán)路,(phaselookedloop)使振蕩電路的頻率與晶振的諧振頻率保持一致。為了進(jìn)一步減小下限,經(jīng)過(guò)對石英晶振結構的研究,選用10mm長(cháng)的晶振做成0.133Pa~105Pa測量范圍的真空計。


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在石油化工的順丁橡膠生產(chǎn)生產(chǎn)車(chē)間,根據構建&ldquo數字孿生的生產(chǎn)線(xiàn)模型,工業(yè)生產(chǎn)人腦30線(xiàn)上金屬催化劑主要參數,協(xié)助提高產(chǎn)品良品率;在混凝土生產(chǎn)中,工業(yè)生產(chǎn)人腦30的工業(yè)視覺(jué)AI能力可以清除繁雜環(huán)境、光源的,對火苗種類(lèi)實(shí)現歸類(lèi),全自動(dòng)進(jìn)行機器設備的操縱;在電力企業(yè),工業(yè)生產(chǎn)人腦30的配電網(wǎng)&ldquo值班員根據知識圖譜的學(xué)習培訓,早已能準確進(jìn)行50%的生產(chǎn)調度工作中,每一年為各地市企業(yè)節約上一定的成本費。



inficon溫度控制器尤其合適收集迅速運動(dòng)物件的圖象。除此之外。新型還給予出色的低噪音圖象品質(zhì),就算在惡劣的環(huán)境下也可以完成的圖像分析,例如暗光情況下的室內健身剖析,新款LXT萬(wàn)兆網(wǎng)插口照相機特別適合對高像素、快速圖象收集品質(zhì)有嚴格規范的檢查運用。



其穩固的工業(yè)產(chǎn)品設計可以合理抵擋機械設備負載。并保證穩定的圖象處理,照相機裝有4路帶脈沖寬度調制作用的光電耦合器輸出,功率達到120W(大48V/25A),因而不用外界控制板便可同時(shí)操縱燈源,照相機還能夠選裝已獲的維護防水套管系統軟件。防水等級可達IP65或IP67,不用一切外界保護罩,依靠根據IEEE1588規范的時(shí)間協(xié)議書(shū)(PTP)。


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