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渦輪分子泵組由一個(gè)帶Holweck級的(HiPace80)渦輪分子泵和一款干式壓縮隔膜泵(MVP015-2)組成。這款泵組的抽速 很高可達67l/s并且 很終真空度可達110-7 hPa。不銹鋼腔體上有六個(gè)真空計連接口。如果客戶(hù)要求，兩個(gè)參考標準(1hPa和1,000hPa)和一個(gè)冷陰極真空計能夠預裝在這套系統中。比如，壓力控制和歸零調整的預裝。

所有的真空計都進(jìn)行了預校準并且符合德國認證機構(German:DeutscheAkkreditierungsstelle–DAkkS)的標準。這就使得校準真空計可以被有效的實(shí)施并且符合法律和規范要求，并且這個(gè)標準是一個(gè)國際化上認可的標準。此外， 很多四臺真空計能安裝在不銹鋼腔體上同時(shí)進(jìn)行校準。

裝置內要求6臺相接的真空計要求的真空度相同，譜拓認為這就需要在校準的時(shí)候，用獨立的進(jìn)氣閥來(lái)設定并且控制真空度。

渦輪分子泵(英簡(jiǎn):turbopumps,TMP)是由多級的，渦輪狀帶葉片的轉子通過(guò)一個(gè)無(wú)刷直流電機驅動(dòng)復合軸承構成。在轉子葉片之間，有一個(gè)定子葉片，定子葉片結構與轉子相似，但與轉子成鏡像安裝。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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回顧便攜式真空計校準裝置的研發(fā)歷程，為了保證校準裝置的靈活使用，以實(shí)現在線(xiàn)校準的初心為牽引，真空事業(yè)部產(chǎn)品研發(fā)人員在前期技術(shù)積累基礎上，開(kāi)展集智攻關(guān)，突破了眾多技術(shù)難關(guān)。為了滿(mǎn)足不同空間、不同環(huán)境的靈活使用，要保證“尺子”體積足夠小、方便攜帶。

研發(fā)人員采用模塊化、集成化設計，通過(guò)機械設計和硬件結構的不斷升級，相較于初代產(chǎn)品結構更加緊湊，使用更為方便；設計為箱體式結構，更好地保護裝置本體和標準器，實(shí)現長(cháng)途攜帶，便于在實(shí)驗室和現場(chǎng)校準使用。目前，很新代該裝置體積約500mm×500mm×850mm。

▲科研人員使用便攜式真空計校準裝置

第二為了使裝置功能強，能夠校準不同種類(lèi)的真空計，要保證裝置量程足夠寬、精度高。研發(fā)人員采用多種計量方法，將靜態(tài)比較法、動(dòng)態(tài)比較法、動(dòng)態(tài)流量法等集成在一起。由于各種方法的原理、結構均不相同，甚至可能相互干涉，研發(fā)人員不斷反復地進(jìn)行迭代試驗，創(chuàng )新性地將它們設計組合在一起，實(shí)現寬量程、高精度的校準。

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氣體類(lèi)型對熱偶真空計的危害熱偶真空計對不一樣氣體的測定結果是不一樣的，這也是因為不一樣氣體分子結構的傳熱系數不一樣引發(fā)的。但各種各樣氣體的p-E校準曲線(xiàn)樣子都相似，因而，在準確測量不一樣氣體的負擔時(shí)，可依據干躁氣體(或氫氣)標尺的工作壓力讀值，再乘于相對應的被測氣體相對度，就可獲得該氣體的真實(shí)工作壓力，

即通常以干躁氣體(或氫氣)的相對度為1，別的一些較常用的氣體和水蒸氣的相對度如表4-2所顯示。相對度說(shuō)明了氣體導熱的特性。從表得知，針對氣體分子結構中具備同樣原子數的氣體或蒸汽，其相對度Sr隨相對分子質(zhì)量的增加而擴大。表4-2一些氣體與蒸汽的相對度

熱偶規管加溫電流量的明確因為生產(chǎn)制造熱偶規管常用的原料及加工工藝等緣故，每一個(gè)規管的加溫電流量均不同樣；在應用歷程中也會(huì )因為規管“衰老”促使加溫電流量增大；除此之外，不一樣檢測范圍的加溫電流量也是有差別。因而，在應用熱偶記時(shí)，應按不一樣的測量范圍明確規管的加溫電流量。

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