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EDWARDS EPX180L 半導體干式真空泵 EPX180L維修
愛(ài)德華EPX 180真空干泵
Edwards EPX 系列支持清潔和輕 型半導體加工應用,如灰化/剝離和注入端點(diǎn) 站應用。EPX 系列以極輕、的 封裝提供工具上泵送功能,可實(shí)現異常清潔的真空。EPX 泵 采用已獲zhuanli的獨特單軸再生 Holweck® 分級機構,能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-7Torr 的極限壓力。EPX 泵能夠以模塊化組件 提供增強的性能,既可集成到制程工具,可以遠程安裝。重量43.5KG。
潽拓——愛(ài)德華二手泵,分子泵
愛(ài)德華 Edwards ext200/200/30 Agilent 80c真空分子泵,二手分子泵維修
dwards EXT200/200/30 Turbo Pump 對應Agilent Code: 8756-10-100,
Edwards EXT200/200/30 具備三個(gè)抽氣口,分別對應200L/s, 200L/s及30L/s
一臺真空分子泵可以為安捷倫質(zhì)譜儀提供三個(gè)高真空
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廣州潽拓維修愛(ài)德華二手分子泵 Edwards EXT 255HI
Edwards EXT255H英國愛(ài)德華分子泵維修,Edwards EXT255H愛(ài)德華渦輪分子泵進(jìn)氣法蘭口DN100IS/100CF,出氣法蘭口DN25,抽速可達到195l/s,轉速為60000 rpm,極限壓力》5X10-9Pa
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