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分子真空泵是在 1911 年由德國人蓋德 首先發(fā)明的,并闡述了分子泵的抽氣理論,分子泵,使機械真空泵在抽氣機理上有了新的突破。 分子泵的抽氣機理與容積式機械泵靠泵腔容積變化進(jìn)行抽氣的機理不同,分子泵是在分子流區域內靠高速運動(dòng)的剛體表面傳遞給氣體分子以動(dòng)量,使氣體分子在剛體表面的運動(dòng)方向上產(chǎn)生定向流動(dòng),從而達到抽氣的目的。
通常把用高速運動(dòng)的剛體表面攜帶氣體分子,并使其按一定方向運動(dòng)的現象稱(chēng)為分子牽引現象。因此,人們將蓋德發(fā)明的分子泵稱(chēng)為牽引分子泵。分子泵公司主要提供各品牌分子泵電源,真空計,真空顯示器,氦氣檢測儀,質(zhì)譜儀的維修、保養、銷(xiāo)售等服務(wù)。分子泵分子泵是利用高速旋轉的轉子把動(dòng)量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。
這種泵具體可分為: ?。?)牽引分子泵氣體分子與高速運動(dòng)的轉子相碰撞而獲得動(dòng)量,被驅送到泵的出口。
?。?)渦輪分子泵 靠高速旋轉的動(dòng)葉片和靜止的定葉片相互配合來(lái)實(shí)現抽氣的。這種泵通常在分子流狀態(tài)下工作。
(3)復合分子泵它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來(lái)的一種復合型的分子真空泵。
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在潤滑方面,配備一種新型潤滑劑,具備更高的抗老化性、更優(yōu)化的潤滑性能和更強的耐熱性,進(jìn)一步提升真空泵組的安全性能,而且各款泵均可免維護運行5年。渦輪分子泵應用于鍍膜機渦輪分子泵應用于鍍膜生產(chǎn)線(xiàn),客戶(hù)某透明玻璃投射電容技術(shù)元件及模組生廠(chǎng)商,產(chǎn)品玻璃觸控模組,廣泛應用于智能手機中.愛(ài)發(fā)科渦輪分子泵1500U配置于該企業(yè)鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)中.
渦輪分子泵1500U技術(shù)參數
壓縮比
Ar:>1X108
H2:6X103
He:2X105
N2:>1X108
抽速
Ar:1350l/s
H2:1150l/s
He:1350l/s
N2:1400l/s
進(jìn)氣口
DN250-ISO-K
極限真空重量
29KG
渦輪分子泵1500U抽速:渦輪分子泵1500對各種氣體均有高抽吸能力,高工藝適用性,防止進(jìn)入顆粒.集成驅動(dòng)電路,適用于工業(yè)環(huán)境,通過(guò)保護等級IP54.帶有氣體密封閥24VDC的集成型氣體密封系統.渦輪分子泵1500搭配控制器TC1200,通訊接口RS-485,遠程遙控(Profibus/DeviceNet型號供選擇),多種配件供客戶(hù)選擇.
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渦輪分子泵與油擴散泵相比具有啟動(dòng)快,有機蒸汽污染少和極限真空高等特點(diǎn).因此在氦質(zhì)譜檢漏儀中采用分子泵作為高真空系統,即使檢漏儀不用液氮冷阱,質(zhì)譜室也不致嚴重沾污,并能保持較低的本底或雜聲.這有利于氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度和穩定性的提高,并且延長(cháng)離子源的使用壽命.
氦質(zhì)譜檢漏儀質(zhì)量范圍很寬,不僅可檢測氦氣,而且能檢測其它氣體。分子泵排氣系統取代擴散泵排氣系統,不僅解決了油蒸氣對質(zhì)譜室的污染問(wèn)題,而且對快速啟動(dòng)儀器和快速停機做出了很大貢獻。氦質(zhì)譜檢漏儀中沒(méi)有手動(dòng)閥,現已采用自控閥自動(dòng)調節運轉時(shí)的誤差。同時(shí)用渦輪分子泵取代了油擴散泵,以消除可能造成的油返流。計算機技術(shù)也在檢漏儀中獲得應用。運轉、控制和輸出數據均由計算機自動(dòng)操作完成。
我們都知道,旋轉機械的不平衡是引起振動(dòng)的常見(jiàn)原因之一,由此產(chǎn)生的振動(dòng)力取決于旋轉速度以及不平衡的程度。而在高速旋轉的機械中,不平衡則是非常嚴重的問(wèn)題。尤其對轉子速度高達90000rpm(1500rpm/sec)的渦輪分子泵而言,對于動(dòng)平衡品質(zhì)的要求極高,哪怕是幾毫克范圍內輕微的不平衡,都會(huì )對泵的運行產(chǎn)生重大影響。因此,渦輪分子泵的轉子需要做精密的動(dòng)平衡,品質(zhì)好的動(dòng)平衡既關(guān)系到轉子的平穩運行,也關(guān)系到渦輪分子泵的磨損,還可確保將傳遞到真空腔室和用戶(hù)應用系統上的振動(dòng)降至很低。
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