廣州潽拓光電科技有限公司——varian
Varian意大利瓦里安分子泵于2010年被美國的Agilent安捷倫公司收購了,瓦里安Varian的分子泵幾乎涵蓋了所有可能的應用領(lǐng)域,特有的機電一體化的設計,具有前級耐壓高的特性,適用于10-10-10毫巴的真空環(huán)境。
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varian Turbo-V 801 Navigator真空分子泵的應用范圍包括高能物理和研究、納米技術(shù)、質(zhì)譜技術(shù)、工業(yè)真空加工和半導體,并可用作掃描電子顯微鏡 (SEM) 的zhuan用泵。
廣州潽拓光電科技有限公司——varian VARIAN TV301 NAV 聯(lián)系咨詢(xún)
TV 301導航器不含污染物,因此適用于需要“清潔”真空的應用。它配備有輔助連接器,以提供一個(gè)附加的風(fēng)扇,以控制排氣閥,該風(fēng)扇通過(guò)通過(guò)串行線(xiàn)(RS232或RS485)連接的主機從遠程站點(diǎn)進(jìn)行控制。TV 301 Tubro泵有四種型號,僅高真空法蘭有所不同。該泵由一個(gè)高頻電動(dòng)機組成,該電動(dòng)機驅動(dòng)裝有8個(gè)葉片級和3個(gè)Macrotorr級的渦輪機。從高真空法蘭端看時(shí),渦輪沿逆時(shí)針?lè )较蛐D。該渦輪機由高強度鋁合金制成,并由一個(gè)整體加工而成。Macrotorr階段為四個(gè)光盤(pán)的形式。渦輪轉子由永jiu潤滑的高精度陶瓷球軸承支撐,該軸承安裝在泵的前排側。定子的靜葉片由不銹鋼制成。這些由墊片環(huán)支撐并精que定位。Macrotorr定子采用自定位的機加工盤(pán)形式,具有泵送通道和受相應轉子盤(pán)限制的開(kāi)口。這些由鋁合金制成。
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渦輪分子泵的轉子葉片具有特定的形狀,在它以20000~30000r/min的高速旋轉的同時(shí),葉片將動(dòng)量傳給氣體分子。葉片高速旋轉,其周邊的線(xiàn)速度一般200~300m/s,相當于空氣分子平均速率的一半。為了獲得高真空,渦輪分子泵中裝有多級。上級葉片輸送過(guò)來(lái)的氣體分子又會(huì )收到下級葉片的作用繼續被壓縮到更下級。因此,渦輪分子泵的的一個(gè)特點(diǎn)是對一般氣體的抽出極為有效。例如對于氮氣,其壓縮比可以達到109 但是渦輪分子泵抽除分子質(zhì)量較小的氣體能力較差,例如氫氣,其壓縮比僅有103 。
廣州潽拓光電科技有限公司——varian agilent TV304NAV.C.U分子泵驅動(dòng)器故障
分子泵中經(jīng)常掉出頂絲、鏍釘等物體,如M5的頂絲等,請問(wèn)是否對分子泵的使用有影響?應如何解決?
原因:應是偶爾發(fā)生的事情,可能是平衡中遺漏的平衡釘,對分子泵沒(méi)有影響。
解決方式:應是偶爾發(fā)生的事情,可能是平衡中遺漏的平衡釘,對分子泵沒(méi)有影響。
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分子泵噪音大如何界定?是否有合格標準,是多少?
答:小于72db合格,噪音的大小不太好界定,需要zhuan用儀器和特定的測試環(huán)境