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廣州潽拓光電科技有限公司——瓦里安進(jìn)口分子泵

瓦里安分子泵幾乎涵蓋了所有可能的應用領(lǐng)域，特有的機電一體化的設計，具有前級耐壓高的特性，適用于10－10-10毫巴的真空環(huán)境。

VARIAN分子泵一體化轉子 瓦里安的***切割工具以及 EDM 工藝,結和完善的 CAD/CAM 制造手段,可將一塊高科技含量的鋁合金原材料加工成為整體型轉子。這項技術(shù)的成就,極大提高了泵的壽命。

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瓦里安Turbo-TV301分子泵驅動(dòng)器輸出電壓75VAC，輸出頻率963HZ，功率200W。安捷倫Turbo-TV301分子泵電源可以控制的分子泵有Agilent Turbo-V301

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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Varian復合分子泵性能優(yōu)良，節能的同時(shí)也降低了發(fā)熱，提高了復合分子泵的可靠性，優(yōu)化了空氣散熱的冷卻片，從而獲得更高的穩定性。除此之外可以?xún)?yōu)化Turbo-V 81-M MacroTorr 復合分子泵的幾何結構，提高前級耐壓和足夠大的抽氣量，降低能耗和發(fā)熱，可拆卸的前級管道接口可選空氣或水冷卻方式進(jìn)行冷卻。

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Agilent Turbo-V81-M安捷倫渦輪分子泵維修，Agilent Turbo-V81-M安捷倫渦輪分子泵進(jìn)氣法蘭口CFF4/ISO63，出氣法蘭口KF16，抽速可達到77 L/s ，轉速為80000rpm，極限壓力5X10-10 mbar (3.8X10-10 Torr)，Agilent Turbo-V81-M對應的控制器為：Agilent  Turbo-V81-AG

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TV 301導航器不含污染物，因此適用于需要“清潔”真空的應用。它配備有輔助連接器，以提供一個(gè)附加的風(fēng)扇，以控制排氣閥，該風(fēng)扇通過(guò)通過(guò)串行線(xiàn)（RS232或RS485）連接的主機從遠程站點(diǎn)進(jìn)行控制。TV 301 Tubro泵有四種型號，僅高真空法蘭有所不同。該泵由一個(gè)高頻電動(dòng)機組成，該電動(dòng)機驅動(dòng)裝有8個(gè)葉片級和3個(gè)Macrotorr級的渦輪機。從高真空法蘭端看時(shí)，渦輪沿逆時(shí)針?lè )较蛐D。該渦輪機由高強度鋁合金制成，并由一個(gè)整體加工而成。Macrotorr階段為四個(gè)光盤(pán)的形式。渦輪轉子由永jiu潤滑的高精度陶瓷球軸承支撐，該軸承安裝在泵的前排側。定子的靜葉片由不銹鋼制成。這些由墊片環(huán)支撐并精que定位。Macrotorr定子采用自定位的機加工盤(pán)形式，具有泵送通道和受相應轉子盤(pán)限制的開(kāi)口。這些由鋁合金制成。

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渦輪分子泵的轉子葉片具有特定的形狀，在它以20000~30000r/min的高速旋轉的同時(shí)，葉片將動(dòng)量傳給氣體分子。葉片高速旋轉，其周邊的線(xiàn)速度一般200~300m/s，相當于空氣分子平均速率的一半。為了獲得高真空，渦輪分子泵中裝有多級。上級葉片輸送過(guò)來(lái)的氣體分子又會(huì )收到下級葉片的作用繼續被壓縮到更下級。因此，渦輪分子泵的的一個(gè)特點(diǎn)是對一般氣體的抽出極為有效。例如對于氮氣，其壓縮比可以達到109 但是渦輪分子泵抽除分子質(zhì)量較小的氣體能力較差，例如氫氣，其壓縮比僅有103 。