廣州潽拓光電科技有限公司——瓦里安分子泵
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分子泵是高速旋轉的機械,軸承故障可能會(huì )造成泵葉片打碎直接報廢;而當軸承工作狀態(tài)不良時(shí),會(huì )有一系列的現象,如分子泵無(wú)法啟動(dòng),運行噪音增大,溫度或功率異常增加等,在排除外界環(huán)境和進(jìn)排氣壓力過(guò)高等外界因素后,應盡快停泵,送到維修中心進(jìn)行檢修。
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無(wú)論是用于研發(fā)的靈活可靠的系統,還是用于常規工業(yè)真空加工的熱處理系統,或適合在車(chē)間中實(shí)時(shí)檢測泄露的快速耐用的便攜解決方案,安捷倫都可提供相應的解決方案。
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瓦里安Turbo-V 1K-G 不僅是一臺泵。該裝置是專(zhuān)門(mén)為薄膜沉積設備精心設計的***分子泵系統。其葉片級數和泵的整體結構均經(jīng)過(guò)優(yōu)化,可以在高流速的氣氛圍下和溫度極高的環(huán)境中工作。
廣州潽拓光電科技有限公司——瓦里安分子泵 安捷倫TwisTorr 304 FS維修及保養
氣體分子的入射頻率 氣體分子在單位時(shí)間和單位面積內碰撞固體表面的數量稱(chēng)之為入射頻率。入射頻率r和壓強p[pa]、氣體相對分子質(zhì)量mr、溫度t[k]之間的關(guān)系表示為:r=2.6×10-24 p/(mrt)1/2[個(gè)/(m2·s)] (1-6)
即入射頻率和壓強成正比例、和氣體相對分子質(zhì)量平方根及溫度的平方根成反比例關(guān)系。
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維修瓦里安,安捷倫TwisTorr系列,
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