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潽拓——{精}，分子泵

廣州潽拓，EPX180L 半導體干式真空泵 EPX180L維修保養

主要特性和優(yōu)勢

       占地面積小且重量輕 - 作為可用的 工具上泵之一，EPX 顯著(zhù)節省了 占地面積。鋁制構造使其重量輕巧，增加了安裝 選項。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節省了前級管道和 安裝成本，如果需要也可遠程使用。

       受zhuanli保護的獨特泵機構 - EPX 可以從大氣壓抽空到 UHV 級基準壓力并可在所有入口壓力下連續運轉。

          超清潔機構 - 傳統的高真空軸承使用油脂潤滑，這可能成為制程 工具中污染源。EPX 泵沒(méi)有高真空軸承油脂，并且不存在 任何其他的潛在污染源。

非?？煽?- EPX 具有大約 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，通常 每 5 年維修一次，zui大程度地延長(cháng)了泵的 使用壽命。

        運轉時(shí)的噪聲低至 56 dB(A)，可在潔凈室內實(shí)現低噪聲。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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Edwards next85h cf63 nw16 80w 渦輪增壓泵

概述：

      愛(ài)德華Edwards nEXT輪分子泵是一種帶有復合牽引級和機載式控制器的混合軸承渦輪分子泵，抽速的范圍為 47 ls-1 至 400 ls-1。它們全部使用永磁上軸承，能夠消除轉子頂部的碳氫化合物，同時(shí)使用油潤滑下軸承，可實(shí)現可靠的高速操作。

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