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與傳統現場(chǎng)總線(xiàn)相比，它們具有數據傳輸速率極高、接入設備顯著(zhù)更多的優(yōu)點(diǎn)，因而能夠幫助企業(yè)加速實(shí)現工業(yè)4.0目標。ProfiNet和EtherCat接口此外，除了此前采用模擬輸出的版本，現還配有電容式真空規CCT。該真空計擁有不受氣體種類(lèi)影響和測量精度高的優(yōu)勢，并可用于鍍膜過(guò)程的準確過(guò)程控制、冷凍干燥或校準實(shí)驗室。電容式真空規CCT可靠的陶瓷技術(shù)元件具有優(yōu)良的化學(xué)耐性和極低的零點(diǎn)偏差。
目前，有溫度補償型和45℃加熱型兩種規格可選擇。電容式真空規CCT真空系統或者真空泵調試時(shí)經(jīng)常需要查看真空泵的真空度，每個(gè)調試工程師都希望有一款便攜小巧并且皮實(shí)耐用的真空計。為滿(mǎn)足這種需求，inficon發(fā)布了一款便攜式的真空計套裝HGC-536。目前正限促銷(xiāo)，含稅5000元套。套裝包括：萬(wàn)用表大小的手持式控制器，通過(guò)可伸縮軟線(xiàn)連接的真空規管，還有方便攜帶的迷你手提箱。
小巧又功能強大的手持式控制器該套裝的控制器采用MicroUSB充電線(xiàn)和5號電池雙電源供電，用電池供電時(shí)可以顯示剩余電量，還可以設置自動(dòng)關(guān)閉時(shí)間來(lái)節省電量，帶背光的LED顯示屏讓真空讀數在陽(yáng)光下和漆黑的環(huán)境中都清晰可見(jiàn)。
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真空計，又叫真空規。半導體設備中，不可避免的用到真空計，主要是用來(lái)測量某一個(gè)腔室或者管道中的壓強。
是什麼？能做什么？怎么用？
1，是什麼？真空計，字面意思，計量真空度的儀器。
2，能做什么？真空計主要用來(lái)測量真空，或者叫測量壓強大小。腔室里面氣體多，壓力大，壓強大，真空計顯示的數值就大；反之，真空計顯示的數值小。
3，怎么用？一般就是把真空計的物理接口，KF接口或者是螺紋接口接到腔室上，然后把真空計的電氣接口接到電腦或者的顯示儀表上。這樣就可以測量腔室的真空度，也能看到真空度具體的數值了。
4，注意，真空計是有分類(lèi)的，有的適合測量低真空，也就是壓強大一些的；有的適合測量高真空，也就是壓強小一些的。一般常用的是熱電偶真空計，皮拉尼真空計，冷陰極真空計，電離真空計。
自己接觸過(guò)的真空計有電離式，皮拉尼式和冷陰極式真空計。
具體各自的工作原理，大家可以搜一搜，如果需要，我下次補上，一塊學(xué)習。
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單側電極inficon電容薄膜真空規管結構圖郭占社等提出了基于峰值檢測的微電容測量法，該方法可用于檢測inficon設備上的單一電容變化量。電路采用實(shí)時(shí)峰值檢測技術(shù)，只檢測待測電容的變化量。 首先正弦載波信號及微分電路對inficon器件輸出的電容量進(jìn)行載波調制，然后通過(guò)減法電路得到幅值與電容變化量成比例的正弦信號， 很后用峰值檢測方法對信號進(jìn)行解調，得到直流輸出。測試結果表明，該測量電路具有良好的線(xiàn)性，測量精度可以達到2%，靈敏度可以達到3.6V/pF。但該電路不易于小型化集成。
圖2基于峰值檢測的微電容測量電路框圖Wang等設計了一種具有寬溫度范圍的基于CMOS的微電容測量電路。 電路采用相關(guān)雙采樣方法，Vref為輸入參考電壓，時(shí)鐘信號Φ1、Φ2通過(guò)控制開(kāi)關(guān)控制電容的充放電從而完成對敏感電容的測量。保持電容Ch1、Ch2用來(lái)存儲和消除低頻噪聲及運算放大器的偏置電壓。
電路采用結構簡(jiǎn)單、性能穩定的二階Σ-Δ調制器來(lái)實(shí)現高的分辨率，其中電容C3=2C4。測量過(guò)程分為兩個(gè)階段，當信號Cal置“0”時(shí)，電路處于正常工作狀態(tài)，輸出為y；當信號Cal置“1”時(shí)，電路處于校準狀態(tài)，C1和C2位置互換，此時(shí)輸出為y′。兩種狀態(tài)下的輸出信號都包含由時(shí)鐘反饋回路、電荷注入效應、開(kāi)關(guān)漏電流等產(chǎn)生的噪聲，兩者相減即可消除這些噪聲。
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