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靜電力平衡式微電容測量法適用于靜電力平衡式inficon電容薄膜真空計，電路為閉環(huán)結構，包括微電容測量電路和靜電力控制回路，其中靜電力控制回路用來(lái)產(chǎn)生平衡感壓薄膜的靜電力，對系統的測量性能有著(zhù)至關(guān)重要的影響，該方法在保證真空計高準確度測量的同時(shí)還能拓寬其動(dòng)態(tài)測量范圍。

inficon電容薄膜真空計用于真空測量，要求在較寬的壓力測量范圍內能測得較小的壓力變化量，同時(shí)需要滿(mǎn)足深空探測、臨近空間探測以及空氣動(dòng)力學(xué)實(shí)驗等活動(dòng)中測量?jì)x器小型化的要求，所以測量電路應該在滿(mǎn)足測量要求的前提下盡可能實(shí)現集成化、小型化、功耗低。因此，針對不同電極結構的inficon電容薄膜真空計微電容測量電路應朝著(zhù)易于集成、小型化的方向發(fā)展。

由于基于開(kāi)關(guān)電容法的微電容測量電路易于集成，而靜電平衡結構的微電容測量法有拓寬動(dòng)態(tài)測量范圍的優(yōu)勢，因此基于兩者結合的微電容測量電路有望實(shí)現對inficon電容薄膜真空計整體測量性能的提升。另外，隨著(zhù)人工智能以及物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展，inficon電容薄膜真空計的應用范圍已經(jīng)從航空航天等領(lǐng)域向大眾化領(lǐng)域拓展，這使得其需求量變大，種類(lèi)更多，考慮到市場(chǎng)的研發(fā)時(shí)間成本，研發(fā)和設計能滿(mǎn)足不同類(lèi)型的inficon電容薄膜真空計的電路是接下來(lái)inficon電容薄膜真空計微小電容測量電路的主要發(fā)展方向。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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▲DL-10A諧振阻抗測量電路

近似地諧振阻抗Z為：Z=R×VAE/VDE。其中VAE是AE兩點(diǎn)間的電壓，VDE是DE兩點(diǎn)間的電壓。測量了阻抗，由阻抗與氣體壓強的關(guān)系曲線(xiàn)，便可知道氣體的壓強。例如，DL-10A型石英真空計采用FC135晶振做傳感器，其阻抗與壓強的關(guān)系如下所示：▲FC135晶振諧振阻抗與壓強的關(guān)系

圖中縱坐標△Z是諧振阻抗Z與固有阻抗Z0之差。固有阻抗是壓強遠小于下限即小于10-3Pa的阻抗。橫坐標是壓強，由圖可見(jiàn)，在壓強小于100Pa，△Z與P近似成線(xiàn)性關(guān)系。在104-105Pa之間，△Z與P的開(kāi)方成正比。我們將上述曲線(xiàn)存在單片機中，測量△Z值，由數碼管顯示對應的壓強值，這就是石英真空計的工作原理。

DL-10A設置一個(gè)零點(diǎn)調節按鍵，當壓強小于10-3Pa時(shí)，按一下該按鍵，單片機執行中斷程序，將此時(shí)的Z值存在單片機的EEPROM中。DL-10A還設置一個(gè)大氣調節按鍵，當傳感器暴露在大氣時(shí)，按一下該按鍵，單片機執行另一中斷程序，將此時(shí)的Z值存在單片機的另一EEPROM中。當儀器長(cháng)時(shí)間不用或環(huán)境溫度變化較大時(shí)，應進(jìn)行零點(diǎn)調節及大氣調節。

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為了更好地使裝置作用強，可以校準不一樣品種的真空計，要確保裝置測量范圍充足寬、高精度。研發(fā)人員選用多種多樣計量檢定方式，將靜態(tài)數據比較分析法、動(dòng)態(tài)性比較分析法、動(dòng)態(tài)性總流量法等集成化在一起。因為各種各樣方式 的基本原理、構造均不同樣，乃至很有可能互相干預，研發(fā)人員持續重復地完成梯度下降法實(shí)驗，創(chuàng )新能力地將他們設計方案組成在一起，完成寬測量范圍、高精密的校準。

與此同時(shí)還具有擴展作用插口，有利于擴展標準孔板校準、測漏等作用，解決了一直以來(lái)真空校準裝置沉重沒(méi)法帶上到當場(chǎng)只有在試驗室校準的瓶頸問(wèn)題，完成了當場(chǎng)真空計的準確校準。應用攜帶式真空計校準裝置“小直尺”都發(fā)生在哪兒？攜帶式真空計校準裝置自研發(fā)代迄今，近年來(lái)，商品獲得30好幾家企業(yè)的運用?！靶≈背摺背浞职l(fā)揮著(zhù)“大功效”，在嫦娥系列月球探測儀、火星探測器、空間站、北斗導航等重要航空航天型號規格工作的研發(fā)實(shí)驗及發(fā)送中獲得了巨大運用；

在處理芯片、行波管、大氣電氣設備、真空泵元器件、高精密時(shí)鐘、充電電池等生產(chǎn)全過(guò)程/生產(chǎn)機器設備的定時(shí)校正中也激發(fā)著(zhù)關(guān)鍵功效；與此同時(shí)，在飛機發(fā)動(dòng)機、、巡航等的實(shí)驗與生產(chǎn)，特種鋼材冶煉廠(chǎng)、高純氣體制備、裝備生產(chǎn)當場(chǎng)都曾發(fā)生攜帶式真空計校正設備的小影子。高新科技要發(fā)展趨勢，計量檢定須優(yōu)先。

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