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感壓薄膜上的電極分別與固定電極、參考電極構成敏感電容和參考電容，伺服電極位于感壓薄膜下方，通過(guò)施加靜電力使感壓薄膜在測量真空度的過(guò)程中處于一個(gè)確定的位置，從而實(shí)現寬范圍的動(dòng)態(tài)壓力測量。當被測壓力為p時(shí)，要使感壓薄膜處于平衡狀態(tài)，則施加在感壓薄膜上的單位面積的靜電力Fe應于壓力p相等，

靜電力平衡式inficon電容薄膜真空規管結構圖當伺服電壓為VS時(shí)，薄膜上所受的靜電力Fe為：式中：ε0為真空腔室的介電常數；d是伺服電極與薄膜間的距離。由式（2）、式（3）得伺服電壓與壓力p的關(guān)系為：如圖10所示，靜電力平衡式inficon電容薄膜真空計的信號處理電路由微電容測量電路和靜電力控制回路組成。其中，微電容測量電路用來(lái)對敏感電容的變化量測量得到壓力信號，而靜電力控制回路用來(lái)產(chǎn)生伺服電壓。

圖10靜電力平衡式inficon電容薄膜真空計測量電路結構圖為了保證靜電力平衡式inficon電容薄膜真空計具有高精度以及良好的穩定性，靜電力控制回路須要產(chǎn)生準確穩定的靜電力。通常采用PID控制器作為靜電力控制回路中的靜電力控制器。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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石英真空計應用

在風(fēng)洞中的應用

風(fēng)洞模型測壓試驗是獲得氣動(dòng)載荷分布和氣動(dòng)特性的重要方法之一。常規高速超聲速風(fēng)洞測壓在高于2kPa高壓已能夠獲得較好的精度，但在1kPa以下壓強暫無(wú)法獲得高精度的測量結果。而模型背風(fēng)區壓強測量，測力試驗底部壓強測量，低密度風(fēng)洞測壓試驗等均存在大量微壓測量任務(wù)。

用石英真空計已能測量0.2kPa-2kPa之間的壓強。目前在風(fēng)動(dòng)中測量壓強要用一細長(cháng)管道將氣體引出，管道長(cháng)為1.3m，內徑為0.9mm。風(fēng)動(dòng)中測量壓強是要測量壓強的分布，即多點(diǎn)測量，這些是與通常的壓強測量不同的。多點(diǎn)測量是將石英晶振安裝在一個(gè)集成箱中，由細長(cháng)管道通到被測量的位置。晶振測量電路將測量到的晶振電壓與電流送到統一的主控板，該主控板就存有32個(gè)位置的壓強值。

由于在被測壓強位置與晶振之間存在細長(cháng)管道對測量會(huì )有影響，其一是使時(shí)間常數增大，讀數變化緩慢，實(shí)驗測量在300Pa壓強時(shí)，時(shí)間常數約55秒，在風(fēng)洞測量中此時(shí)間常數仍可接受。其二是細長(cháng)管道會(huì )使測量下限升高。因為晶振位置總會(huì )存在一定的放氣與漏氣，若放氣與漏氣量為Q，則在晶振處的 很低壓強應為P=Q/S，Q為晶振處的放氣與漏氣量，S為經(jīng)過(guò)細長(cháng)管道后晶振處的有效抽速。實(shí)驗測得經(jīng)細長(cháng)管道后 很低指示壓強為10Pa，這對測量大于0.2kPa壓強管道引起了下限的增加，對測量并無(wú)很大影響。石英真空計用于大于0.2kPa壓強，測量精度約為15%。

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