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為了校準裝置的后續發(fā)展，具備更多功能，要保證裝置具有拓展功能接口。研發(fā)人員采用在裝置中預留通用真空接口的方式，方便后續產(chǎn)品組合，拓展新的功能，如拓展漏孔校準、檢漏等功能。通過(guò)真空事業(yè)部多年來(lái)的不斷攻堅克難，大膽創(chuàng )新，目前研制成功的便攜式真空計校準裝置在設備外觀(guān)、客戶(hù)界面及操作使用上更加美觀(guān)合理，具備體積小、易攜帶，不受環(huán)境、空間等因素影響，隨時(shí)隨地都可進(jìn)行校準使用，

同時(shí)還具備拓展功能接口，便于拓展漏孔校準、檢漏等功能，解決了長(cháng)期以來(lái)真空校準裝置笨重無(wú)法攜帶到現場(chǎng)只能在實(shí)驗室校準的技術(shù)難題，實(shí)現了現場(chǎng)真空計的準確校準。使用便攜式真空計校準裝置“小尺子”都出現在什么地方？便攜式真空計校準裝置自研制代至今，近幾年來(lái)，產(chǎn)品得到國內外30多家單位的應用。

“小尺子”發(fā)揮著(zhù)“大作用”，在嫦娥系列月球探測器、火星探測器、空間站、北斗導航等重大航天型號任務(wù)的研制試驗及發(fā)射中得到了極大應用；在芯片、行波管、高大上電氣、真空器件、高精度時(shí)鐘、電池等生產(chǎn)過(guò)程/生產(chǎn)設備的定期校準中也發(fā)揮著(zhù)重要作用；同時(shí)，在航空發(fā)動(dòng)機、火箭、等的試驗與生產(chǎn)，特種鋼材冶煉、高純度氣體制備、裝備生產(chǎn)現場(chǎng)都曾出現便攜式真空計校準裝置的小身影。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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感壓薄膜上的電極分別與固定電極、參考電極構成敏感電容和參考電容，伺服電極位于感壓薄膜下方，通過(guò)施加靜電力使感壓薄膜在測量真空度的過(guò)程中處于一個(gè)確定的位置，從而實(shí)現寬范圍的動(dòng)態(tài)壓力測量。當被測壓力為p時(shí)，要使感壓薄膜處于平衡狀態(tài)，則施加在感壓薄膜上的單位面積的靜電力Fe應于壓力p相等，

靜電力平衡式inficon電容薄膜真空規管結構圖當伺服電壓為VS時(shí)，薄膜上所受的靜電力Fe為：式中：ε0為真空腔室的介電常數；d是伺服電極與薄膜間的距離。由式（2）、式（3）得伺服電壓與壓力p的關(guān)系為：如圖10所示，靜電力平衡式inficon電容薄膜真空計的信號處理電路由微電容測量電路和靜電力控制回路組成。其中，微電容測量電路用來(lái)對敏感電容的變化量測量得到壓力信號，而靜電力控制回路用來(lái)產(chǎn)生伺服電壓。

圖10靜電力平衡式inficon電容薄膜真空計測量電路結構圖為了保證靜電力平衡式inficon電容薄膜真空計具有高精度以及良好的穩定性，靜電力控制回路須要產(chǎn)生準確穩定的靜電力。通常采用PID控制器作為靜電力控制回路中的靜電力控制器。

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inficon真空泵系列產(chǎn)品空氣流速準確測量真空計再添新式號，選用模擬信號輸出，為準確并可靠的傳輸數據服務(wù)保障。20很多年來(lái)，inficon真空泵憑著(zhù)數顯式空氣流速準確測量真空計為空氣流速準確測量給予整套計劃方案，這款型號規格根據模塊化可以適用一切工業(yè)生產(chǎn)真空泵運用，它所配置的真空泵規也便于安裝，可以實(shí)現靠譜的空氣流速準確測量。

因為很多真空泵運用僅可在一定的工作壓力區域內開(kāi)展，因此可以準確且安全性地準確測量空氣流速在具體運用中十分關(guān)鍵。系列產(chǎn)品合理準確測量并操縱超濾裝置中的空氣流速，全新升級加上的數顯式數據信號輸出作用，可以讓其完成高精密且可靠的傳輸數據。與模擬測量法對比，可以高質(zhì)量準確無(wú)誤地傳送用以過(guò)程控制和記載的測定數據信息，獲得更為準確的結果。

系列產(chǎn)品產(chǎn)品配置M12插連接頭，使該真空計即使在苛刻加工工藝自然環(huán)境中也可應用。真空泵規還可與HiPace@渦輪增壓分子泵和inficon真空泵別的產(chǎn)品一起在網(wǎng)絡(luò )通信中運作。在零配件層面，已經(jīng)有Profibus-DP、DeviceNet或帶2個(gè)電源開(kāi)關(guān)點(diǎn)和一個(gè)LCD顯示器的額外模擬輸出機器設備可選擇。

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