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電路主要由開(kāi)關(guān)電容電荷放大器和一階Σ-Δ調制器組成，利用0.25umCMOS技術(shù)制作成集成芯片，芯片有效面積約為2平方毫米，供電電壓2.5V，功耗約為6mW。電路的靈敏度可以達到2.5V/pF，分辨率可達到4aF。為滿(mǎn)足不同應用的需求，PérezSanjurjo等設計了一種適用于inficon電容式傳感器的電容-數字信號轉換電路。

可編程放大器提供了多個(gè)增益，使得電路可以根據信號的輸入強度及要求來(lái)選擇合適增益?？烧{方波時(shí)鐘發(fā)生器為傳感器提供激勵信號，同時(shí)為解調器提供時(shí)鐘信號，這種可調性可以抑制傳感器的結構變化以及封裝給電路的影響。另外，該電路中采用了片上電容陣列，可以抵消差動(dòng)結構電容的失配導致的不平衡。

差動(dòng)式可調諧微電容測量電路原理圖電路集成芯片采用0.13umCMOS技術(shù)制造，供電電壓為1.8V，能耗約為10mW。測試結果表明，電路能夠測量inficon電容式傳感器中的飛法級別的電容變化，靈敏度可達到0.3mV/fF，通過(guò)調節相關(guān)參數，靈敏度可達到1mV/fF。Awmini等設計了一種開(kāi)關(guān)電容電路來(lái)測量具有差動(dòng)敏感電容結構的inficon設備的微小電容變化。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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inficon技術(shù)：（1）從微機電系統（inficon）發(fā)展到納機電系統（NEMS）的啟示；（2）inficon加速度計、陀螺儀及組合式慣性傳感器技術(shù)及應用；（3）光學(xué)傳感器和氣體傳感器技術(shù)及應用；（4）inficon諧振器和振蕩器技術(shù)及應用；（5）inficon制造工藝；（6）inficon封裝技術(shù)；（7）inficon產(chǎn)線(xiàn)參觀(guān)學(xué)習：蘇州inficon中試平臺和捷研芯量產(chǎn)封裝產(chǎn)線(xiàn)。 

上世紀50年代，D.J.Pacey研究用石英晶振測量氣體壓強。他采用雙三級管（電子管）做電路，其一側與晶振構成Pierce-Miller振蕩器，晶振置于被測氣體中作壓強傳感器。當氣體壓強變化時(shí)，陽(yáng)極電流也隨之變化。據稱(chēng)該儀器可測105Pa到13.3Pa的壓強。

到了20世紀80年代，M.Ono等人設計了測量范圍從1.33Pa到大于105Pa的石英真空計。所用晶振為音叉結構，長(cháng)2.66mm，寬0.3mm，厚0.13mm，諧振頻率為32768Hz。儀器采用位相鎖定環(huán)路，（phaselookedloop）使振蕩電路的頻率與晶振的諧振頻率保持一致。為了進(jìn)一步減小下限，經(jīng)過(guò)對石英晶振結構的研究，選用10mm長(cháng)的晶振做成0.133Pa~105Pa測量范圍的真空計。

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真空計的校準

現如今，真空在大家日常生活中被廣泛運用于大氣商品的生產(chǎn)制造及制造，而且起著(zhù)關(guān)鍵人物角色。例如：在科學(xué)研究，工業(yè)生產(chǎn)步驟，手機處理器，電腦硬盤(pán)，太陽(yáng)能充電電池，塑膠干躁或是食品類(lèi)真空包裝等行業(yè)。在如今的制造運動(dòng)中，大家對真空度測量的性、規范化、穩定性和重復的標準是極為重要的。在我們在開(kāi)展測量的情況下，高精密又是重要中的關(guān)鍵：

精密度的大小會(huì )立即影響到設備的制造品質(zhì)，科學(xué)試驗的性和設施運用的穩定性。要保證真空計應用時(shí)的可靠性高，就務(wù)必常常對它開(kāi)展校準或校準。而依據每一個(gè)不一樣運用的主要規定，這種校準工作中務(wù)必合乎中國或相應的國際性的規范。經(jīng)濟發(fā)展、合理、、化的組織校準及校準取代解決方法；生產(chǎn)制造運動(dòng)中，真空計通常必須對外開(kāi)放主管機關(guān)開(kāi)展校準和校準。

校準規定

在開(kāi)展校準前，務(wù)必達到如下所示標準：

■系統軟件限工作壓力ρE務(wù)必超出不大校準工作壓力ρmin的50倍

(ρE≤ρmin/50)

■工作溫度務(wù)必穩定(±1°C)

■校準系統軟件務(wù)必熱平穩

■規范真空計和別的真空計在檢測時(shí)真空度務(wù)必平穩

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