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DL-10A的校準曲線(xiàn)如下所示：▲DL-10A校準曲線(xiàn)橫坐標是中國計量院科學(xué)院測量標準值，氣樣是氮氣?？v坐標是DL-10A顯示值。DL-10A的下限決定于Z0隨時(shí)間漂移帶來(lái)的誤差。它主要決定于晶振的結構以及環(huán)境溫度的變化。PART 02石英真空計性能

●石英真空計的精度較高，用音叉結構的晶振安裝在穩定溫度的金屬柱上，在0.01Pa~105Pa之間測量誤差為±10%。在真空計上限附近，即接近大氣壓經(jīng)過(guò)調整后誤差較小可做到3%。隨著(zhù)壓強的減小，誤差會(huì )增大。在真空計的下限誤差較大。

▲DL-10A在中國計量科學(xué)院校準氮氣結果

●石英真空計讀數與氣體種類(lèi)有關(guān)，不同氣體的相對壓強讀數也不同。下圖采用的基準氣體為氮氣，測量不同氣體時(shí)，應對該氣體進(jìn)行修正?！煌瑲怏w的壓強讀數

●環(huán)境溫度的變化會(huì )影響石英真空計的讀數，在高壓強不會(huì )引起很大誤差，但在接近下限，會(huì )引起很大的誤差。這主要體現在晶體的固有阻抗Z0隨溫度變化。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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熱偶真空計工作中特點(diǎn)熱偶真空計是相對性真空計，其工作壓力-熱偶電勢差相匹配值無(wú)法用計算方式準確求取，因而，經(jīng)常在規范自然環(huán)境情況下，用肯定真空計或用校正系統軟件經(jīng)校正明確。在一定的加溫電流量情況下，適用DL-3型規管的熱偶真空計對干躁氣體的校準曲線(xiàn)如下圖4-9和圖4-10所顯示。

DL-3型熱偶真空計的校準曲線(xiàn)(10～10-1Pa)圖4-10DL-3型熱偶真空計的校準曲線(xiàn)(102～10Pa)由圖4-10可以看出，當工作壓力從0.1MPa逐漸逐步減少(圖上未畫(huà)出)的一段工作壓力區域內，熱偶電勢差E一直在零值周邊，其根本原因是氣體分子結構多，傳輸走的卡路里多，因此熱絲溫度低，熱偶電勢差E亦低，并且這時(shí)(λ≤r1)導熱與工作壓力不相干，故熱偶電勢差E不轉變(小量轉變是氣體熱對流造成的)。

當氣體壓力至102Pa時(shí)，熱偶電勢差E逐漸擴大，這也是因為這時(shí)氣體傳輸走的發(fā)熱量降低，熱絲溫度已上升。當工作壓力p再次下降時(shí)，熱偶電勢差再次擴大，可是愈來(lái)愈遲緩，很后趨向一定值。自此，p再減少，E不會(huì )再轉變，即熱偶真空計已做到其準確測量限，這一限為其準確測量低值，約為10-1Pa。為了更好地應用上的便捷，通常依照p—E校準曲線(xiàn)將微伏計的標尺改為真空值。用那樣標尺的真空計準確測量時(shí)，可立即讀取真空值，從此不用依據測定的p-E校準曲線(xiàn)查被測真空值。

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