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PID控制算法簡(jiǎn)單、魯棒性好、可靠性高，在靜電力反饋微傳感器中應用廣泛。PID控制器中的比例作用可以及時(shí)反映系統的誤差信號，并減小系統偏差；積分作用可以消除穩態(tài)誤差，實(shí)現對設定值的無(wú)靜態(tài)跟蹤；微分作用可以改善系統的響應速度和穩定性。通過(guò)正確地設置PID控制器的參數，就可以使其滿(mǎn)足靜電力平衡式inficon電容薄膜真空計的測量要求。

根據對inficon電容薄膜真空計的微電容測量方法的分析，可以看出，針對不同結構的敏感電容，存在不同的測量方法。單側電極微電容測量法電路結構簡(jiǎn)單，易于實(shí)現，適用于敏感電容初值較大且電容變化量也較大的場(chǎng)合。在測量的過(guò)程中，可以引入一個(gè)電容值與敏感電容初值相等的參考電容來(lái)構成差分測量電路，從而在一定程度上消除寄生電容的影響，提高系統的線(xiàn)性度。

雙側電極微電容測量法適用于敏感電容為差動(dòng)結構且初值及變化量都很小的場(chǎng)合，其電路通常包含開(kāi)關(guān)電容電路以及時(shí)鐘電路，這就使得電路結構比較復雜，但在雙側電極微電容測量法中，傳感器與檢測電路構成了雙差動(dòng)結構，從而能抑制測量過(guò)程中的噪聲、減小寄生電容的影響，具有較高的電源抑制比及共模抑制比。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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真空檢漏的實(shí)際意義？答：真空系統軟件的限真空決策于系統軟件的抽速和漏汽量，故在抽速一定時(shí)，漏氣量就選擇了真空度，欲使系統軟件實(shí)現設定的限真空，務(wù)必根據檢漏和補漏使體系的漏汽量操縱在容許漏率范疇內。

從基本原理上講，真空檢漏可分成哪兩類(lèi)？答：可以分成：1）工作壓力檢漏法，包含①打氣檢漏法，②鹵素燈泡檢漏法，③氨檢漏法。2）真空檢漏法，包含①高頻率火苗檢漏法，②真空計檢漏法，③質(zhì)譜儀檢漏法。

概述真空泵的抽真空基本原理。答：1）利用縮小功效將汽體清除到泵外。a.機械設備周期時(shí)間式脹大縮小，b.蒸氣流黏滯牽引帶縮小，c.剛度表層的牽引帶縮小。2）利用吸咐功效將汽體拘束于泵內。a.利用水解呼吸功效，b.利用物理學(xué)吸咐和有機化學(xué)吸咐功效。

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inficon電容器塑料薄膜真空計規定準確測量電源電路功能損耗低、易集成化，充分考慮分布電容和干擾信號及溫度的危害，準確準確測量inficon電容器塑料薄膜真空泵規管的細微電容器是一個(gè)難點(diǎn)。感壓塑料薄膜上的電級各自與固定不動(dòng)電級、參照電級組成比較敏感電容器和參照電容器，伺服驅動(dòng)器電級坐落于感壓塑料薄膜下邊，

根據增加靜電力使感壓塑料薄膜在準確測量真空值的歷程中處在一個(gè)明確的部位，進(jìn)而完成寬標準的動(dòng)態(tài)性壓力測量。當被測壓力為p時(shí)，使得感壓塑料薄膜處在平衡狀態(tài)，則增加在感壓塑料薄膜上的企業(yè)范圍的靜電力Fe應當工作壓力p相同，靜電力均衡式inficon電容器塑料薄膜真空泵規管框架圖當伺服驅動(dòng)器工作電壓為VS時(shí)，塑料薄膜上受到的靜電力Fe為：式中：ε0為真內腔室的相對介電常數；d是伺服驅動(dòng)器電級與塑料薄膜間的間距。

由式（2）、式（3）得伺服驅動(dòng)器工作電壓與工作壓力p的影響為：靜電力均衡式inficon電容器塑料薄膜真空計的信號分析電源電路由微電容器準確測量電源電路和靜電力控制電路構成。在其中，微電容器準確測量電源電路用于對比較敏感電容器的變化量準確測量獲得工作壓力數據信號，而靜電力控制電路用于造成伺服驅動(dòng)器工作電壓。

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