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廣州潽拓光電科技有限公司--ULVAC愛(ài)發(fā)科分子泵維修；

渦輪分子泵的特點(diǎn)很多，但是隨著(zhù)我國機械、、電子、化工等領(lǐng)域的高速發(fā)展，渦輪分子泵想要擴大它的市場(chǎng)占有率，其需要克服的難題還有很多。這些不僅僅需要人士的專(zhuān)研，同時(shí)也需要各界的共同努力，對渦輪分子泵特點(diǎn)的進(jìn)一步研究，相信在未來(lái)是個(gè)值得突破的課題。

典型的渦輪分子泵抽氣系統 ，抽氣系統設置分開(kāi)的粗抽管道和前級管道，這種系統和常用的擴散泵抽氣系統類(lèi)似，其粗抽管道和前級管道的基本配置與擴散泵不同。擴散泵的正常運轉要求前級泵具有足夠大的抽速，以便在很大排氣量時(shí)前級壓力能低于臨界前級壓力，在渦輪分子泵抽氣系統中，要選擇具有足夠容量的前級泵，使很靠近前級管道的葉片在很大排氣量時(shí)處于分子流或者正好處于過(guò)渡流。

大多數渦輪分子泵的很大穩態(tài)進(jìn)氣口壓力P1在0.5~1Pa之間，而很大前級壓力P2約為30Pa。因為排氣量為一常數，即P1S1=P2S2，   （1）式（1）表明，渦輪分子泵抽速和前級泵抽速之S1/S2比應該在30到60的范圍內，對于很大的對氫壓縮比小于500的泵來(lái)說(shuō)，其級配比應該為20：1。1-渦輪分子泵；2-液氮冷阱；3-放氣閥；4-電離規；5-熱傳導規；6-粗抽閥；7-機械泵；8-前級管路閥；9-高真空閥。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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ARPES光束線(xiàn)客戶(hù)案例:某光源ARPES光束線(xiàn)真空系統,真空系統是同步輻射光束線(xiàn)的重要組成部分,只有在真空環(huán)境中運行,光學(xué)元件才能夠將同步輻射光傳輸到試驗站,真空系統的作用就是獲得并維持合理的真空度,保證光束線(xiàn)的穩定運行.此系統搭配愛(ài)發(fā)科分子泵80,及配套真空規.

真空系統要求(分子泵):

1.靜態(tài)真空(無(wú)束流):5x10-8Pa,動(dòng)態(tài)真空(有束流):

2.真空系統基本配置:離子泵+無(wú)油分子泵+冷陰極真空規管+氣體分析儀超高真空系統配置:

渦輪分子泵

接口:DN100CF-F

極限真空:氮氣壓縮比:>1X1011渦輪分子泵80

接口:DN63CF-F

極限真空:氮氣壓縮比:>1X1011殘余氣體分析儀PrismaPro

質(zhì)量數:1-300amu

四極桿直徑／長(cháng)度:6/125mm

很大工作壓力FhPa:5X10-4

渦輪分子泵抽速范圍10至2700L/S,轉速很高90,000rpm,極限真空很大1E-11mbar,對小分子氣體具有更高的壓縮比,實(shí)踐證明渦輪分子泵運行時(shí)間可以達到100,000小時(shí)!分子泵提供復合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿(mǎn)足不同應用,推薦搭配旋片泵和干泵共同使用.更多分子泵典型應用>>

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“該系列渦輪分子泵具有理想的尺寸功率比。350和450是300至700l/s吸力級別中結構緊湊的大功率渦輪分子泵，針對小分子氣體具有的抽吸能力?！闭婵諟u輪分子泵產(chǎn)品經(jīng)理說(shuō)道。內置的驅動(dòng)電子設備在不增加體積尺寸的情況下，提供了包括ProfiNet和EtherCat在內的大量通訊接口。通過(guò)遙控和傳感器元件可以對泵數據進(jìn)行分析，實(shí)現在運行過(guò)程中進(jìn)行理想的工藝監控。

它的運行噪音低，氣體流量大，為真空行業(yè)樹(shù)立了新的標準。該系列的各款泵均已獲得SemiS2、UL、CSA和Nema12認證。此外，該系列各款泵均可以在客戶(hù)現場(chǎng)進(jìn)行軸承維護和軸承更換，并且均可免維護運行4年。磁場(chǎng)環(huán)境對分子泵運行的影響:許多設備在工作時(shí)都會(huì )產(chǎn)生磁場(chǎng)，比如，家用電冰箱的磁場(chǎng)強度約有10高斯（1mT），MRI（）的磁場(chǎng)強度甚至會(huì )高達3T；

盡管可以采取屏蔽等措施，仍然可能會(huì )有外漏的雜散磁場(chǎng)，對工作在附近的分子泵產(chǎn)生不好的影響。磁場(chǎng)對渦輪分子泵的可能影響當渦輪分子泵的轉子在磁場(chǎng)中旋轉時(shí)，會(huì )產(chǎn)生渦流。這些電流傾向于阻礙轉子的旋轉，并導致電機的功率增大。由于泵轉子不與定子接觸，渦生的熱量和額外的功率主要通過(guò)輻射消散。因此，轉子可能會(huì )過(guò)熱，即使泵體及其它靜止的部件仍然是冷的。

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