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分子泵使用過(guò)程出現的問(wèn)題8總體安裝注意事項

①、安裝前應檢查分子泵運輸中是否被損壞。②、打開(kāi)泵高真空端法蘭蓋板，戴好手套，撥動(dòng)渦輪轉子，應轉動(dòng)靈活，無(wú)異?，F象。③、安裝環(huán)境應符合技術(shù)要求和真空衛生要求。④、確認防護網(wǎng)已安裝，特殊情況下定做特殊防護網(wǎng)。⑤、確認已裝入潤滑油。⑥、安裝方向：油繩潤滑：豎直、水平；油潤滑：豎直方向±5°范圍內；脂潤滑：任意角度

是異物掉入;沒(méi)有安裝過(guò)濾網(wǎng)使肯定不行的，另外掉進(jìn)去的東西不一定要多大，但如果硬度夠了一樣會(huì )造成傷害，輕則造成葉片邊緣被打成鋸齒狀，重則打碎葉片。所以現在的設備商在安裝分子泵的時(shí)候會(huì )盡量改為側面90度或倒立安裝，避免異物掉入。電壓的不穩定，特別對磁浮類(lèi)的分子泵損傷較大。前級泵的效率差;我們知道腔體內的大部分氣體首先是通過(guò)前級泵抽出，真空達到一定程度分子泵才會(huì )啟動(dòng)。

如果前級泵的效率差，分子泵就會(huì )比較吃力，啟動(dòng)速度慢，抽氣時(shí)間長(cháng)，電流高，分子泵溫度升高等。⑤、、分子泵保養時(shí)的動(dòng)平衡沒(méi)有做好，這是技術(shù)的關(guān)鍵，動(dòng)平衡差，振動(dòng)就大，抽氣效率就差，也容易造成軸承部分的過(guò)度磨損。⑥、軸承部分沒(méi)有使用原廠(chǎng)的標準軸承，效果和尺寸不標準等。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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為了確認磁場(chǎng)對分子泵工作的影響，德國卡爾斯魯厄理工學(xué)院（）設計并執行了下面的測試：測試條件和裝置被測分子泵的型號為T(mén)wisTorr304FSCFF6，使用一對亥姆霍茲線(xiàn)圈(直徑120厘米)來(lái)產(chǎn)生包圍整個(gè)泵的均勻磁場(chǎng)。使用20℃的冷卻水對分子泵持續進(jìn)行冷卻；分子泵的控制器會(huì )自動(dòng)調整電機電流，保持轉子以恒定轉速運行。

使用安裝于分子泵口的紅外溫度計測量被測試分子泵的轉子溫度。使用連接到分子泵外殼的PT100熱電阻測量定子的溫度。測試過(guò)程試驗期間，渦輪泵以滿(mǎn)轉速持續運行。初始的磁場(chǎng)設置為1mT，泵在該磁場(chǎng)下運行12個(gè)小時(shí)以穩定轉子溫度；然后關(guān)閉磁場(chǎng)，再運行12個(gè)小時(shí)以使轉子降溫；然后再分別把磁場(chǎng)設置為2mT，按照前面的步驟繼續進(jìn)行測試，直至磁場(chǎng)增加到7mT。

當磁場(chǎng)逐步增加后，被測分子泵轉子的平衡溫度也隨之上升，當磁場(chǎng)強度為7mT時(shí)，平衡溫度上升到100攝氏度左右（分子泵的很大允許溫度為120度）。

另外，使用該測試平臺測試了另一臺其它品牌的分子泵，一系列的對比測試表明，分子泵在相同的磁場(chǎng)條件下轉子的平衡溫度明顯較低（5mT時(shí)，低大約40度）。

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分子泵機組耗電：

2.38kW×6720h=年耗電15993.60度×1元/度

=15993.60元原來(lái)的耗電：

8.8kW×6720h=年耗電59136度×1元/度

=59136元通過(guò)上述計算，幾乎當年就能從電費一項收回投資費用：

59136-15993.60=43142.40元

第二年使用分子泵機組電費節約贏(yíng)利43142.40元。

該分子泵近乎免維護，所以如果考慮維護費用，經(jīng)濟效益更可觀(guān)。該分子泵替換運用的成功，為節能減排貢獻巨大力量，做到了制造應用與雙贏(yíng)，并且拓展了分子泵的應用領(lǐng)域。其他好處除了節省成本以外，通過(guò)對分子泵替換的圓排車(chē)所制造的節能燈進(jìn)行測試，燈具在產(chǎn)品壽命和質(zhì)量上也得到明顯提高，通過(guò)質(zhì)譜分析，系統的油污染得到降低，光譜等分析都顯示，應用分子泵排氣制造的燈具性能有很大的改善。

與此同時(shí)，根據在其他多家特種燈（金鹵燈、航標燈等）、車(chē)燈、半導體照明燈客戶(hù)的實(shí)際應用反饋，分子泵對降低生產(chǎn)能耗、提高產(chǎn)品性能和使用壽命等方面都起到明顯的促進(jìn)作用。在部分國內外愛(ài)發(fā)科的照明生產(chǎn)企業(yè)中的應用，分子泵都得到好評和大量替換配套。結  語(yǔ)通過(guò)這個(gè)案例可以看出，將高壓強分子泵機組直接用到圓排機上，實(shí)現了降耗節能、保證質(zhì)量的目標，完全可以替代。

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