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潽拓——愛(ài)德華磁懸浮渦輪泵維修廠(chǎng)家，分子泵

日本島津 SHIMADZU TMP-1303LMEC-T2分子泵

Shimadzu TURBO Pump Controllers 日本島津分子泵電源：

EI-D203M、EI-D303M、EI-D403M、EI-D803M、EI-D1003M、 EI-D1103M、 EI-D1303M 、EI-D2003M 、EI-D3403M、 EI-R04M、 EI-D2203M 、EI-D3203M 、EI-D4203M、EI-3203MD、EI-S04M等

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

廣州潽拓光電科技有限公司——愛(ài)德華磁懸浮渦輪泵維修廠(chǎng)家

島津是的渦輪分子泵（TMP）制造商之一。島津TPM主要用于為制造半導體器件、太陽(yáng)能電池和平板顯示器提供不可或缺的高真空環(huán)境。

島津生產(chǎn)的TMP具有國際水準的氣體吞吐量和抽氣速度，可滿(mǎn)足日益嚴格的半導體制造的工藝需求。例如，使制造商能夠在大面積硅片上沉積和蝕刻半導體薄膜。

我司特針常用的 Shimadzu TMP3203渦輪分子維修保養內容如下：

1、超聲波清洗轉/定子葉片及腔體 并烘干

2、更換了全套陶瓷軸承,油棉及密封件等損耗品

3、馬達線(xiàn)圈阻值測量,轉子定子間隙測量

4、根據ISO1940/1& ANSI S2.19,調整測試動(dòng)平衡至Ｇ0.16標準,

5、測試0-27000rpm啟動(dòng)時(shí)間<3分鐘*測試極限真空值<1.0*10－7mbar等

6、持續模擬生產(chǎn)現場(chǎng)測試24小時(shí),

7、0-20KHz震動(dòng)頻譜加速度分析

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