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廣州潽拓光電科技有限公司--ULVAC愛(ài)發(fā)科分子泵維修；

渦輪分子泵的工作原理，結構型式及其優(yōu)缺點(diǎn)。

為了利用渦輪分子泵，獲得清潔真空，國外多利用干式機械泵作其前級泵，構成無(wú)油的真空系統。然而，目前國內渦輪分子泵多以油封機械泵為其前級泵，構成了有油真空系統，如果操作不當，很難避免油蒸汽返流，對真空系統的污染。利用有油系統獲得清潔真空，國內外都有一些有效防止返流的措施和成功的操作經(jīng)驗。

應用：當今，現代化的半導體行業(yè)中，越來(lái)越多地應用渦輪分子泵。如濺射、刻蝕、蒸發(fā)、注入、分子束外延、離子加工等設備都需要在真空環(huán)境下運行。又如電子顯微鏡，表面分析儀器，殘余氣體分析儀及氦質(zhì)譜檢漏儀等也經(jīng)常使用渦輪分子泵來(lái)抽真空。此外，在宇宙模擬設備、核聚變裝置、太陽(yáng)能集熱管鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)上也都改用大型渦輪分子泵或低溫泵來(lái)代替油擴散泵系統，以防止油蒸汽的污染。

因此，很近十幾年來(lái)，渦輪分子泵，在國內、外都得到了顯著(zhù)的改進(jìn)和發(fā)展。在渦輪分子泵的應用日益增加干式的前級泵還沒(méi)有大量普及和應用的情況下，有時(shí)還不得不用油封機械泵來(lái)作渦輪分子泵的前級泵。因此，針對這種現狀，對渦輪分子泵的合理選用和正確操作是很重要的。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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分子泵是氦質(zhì)譜檢漏儀中獲得高真空重要部,是氦質(zhì)譜檢漏儀中不可或缺關(guān)鍵部件,分子泵性能直接影響檢漏儀性能參數的好壞,分子泵的發(fā)展直接影響著(zhù)氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)。本文重點(diǎn)討論分子泵轉速對氦質(zhì)譜檢漏的影響。2、逆擴散型檢漏儀逆擴散型的檢漏儀的檢漏口是連接到高真空泵與低真空泵之間,所以被檢試件的可檢漏壓力就是高真泵的前級耐壓。如果試件壓力超過(guò)這個(gè)壓力,將使高真空泵不能正常工作。普通渦輪分子泵的前級耐壓,一般不超過(guò)50Pa,遠達不到高壓檢漏的要求。

1980年國際上出現一種稱(chēng)之為“復合型”的分子泵,現今,其前級耐壓很高已達2000Pa。這種泵用作氦質(zhì)譜檢漏儀的高真空泵,可直接實(shí)現在高的試件壓力下的檢漏。用復合分子泵構成的一種可實(shí)現高壓強下的檢漏儀,其工作過(guò)程如下。當被檢試件抽至1500Pa,V1開(kāi)，氨氣逆擴散穿越整個(gè)分子泵進(jìn)入質(zhì)譜室，實(shí)現儀器的逆擴散檢漏。

若能進(jìn)一步將試件抽至200Pa以下，則V2關(guān)閉，V3打開(kāi)，從泵的中間口逆擴散至質(zhì)譜室，若能進(jìn)一步將試件抽至40Pa以下，則V3關(guān)閉，V4打開(kāi)，氦氣從泵的上部逆擴散進(jìn)入質(zhì)譜室，或直接進(jìn)入質(zhì)譜室(常規檢漏）。這種從高壓檢大漏到實(shí)現檢微漏的全自動(dòng)過(guò)程，一氣呵成，不僅，也便于漏率的定量，由于每個(gè)狀態(tài)下的閥門(mén)流導和泵的壓縮比等參數都是固定不變的，儀器只需1次校準即可。

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傳統的產(chǎn)品設計和開(kāi)發(fā)過(guò)程，常被當作是研制產(chǎn)品的一個(gè)步驟，因為產(chǎn)品的設計者不可能對上市時(shí)間、質(zhì)量與可靠性、生產(chǎn)成本、售后及易維護性等全盤(pán)掌握，使用傳統過(guò)程設計的產(chǎn)品在投入生產(chǎn)時(shí)不可避免地需要進(jìn)行反復修改。產(chǎn)品生命周期設計方法通過(guò)提議、調查、實(shí)驗室原型、生產(chǎn)原型、試運行和量產(chǎn)六個(gè)步驟來(lái)推動(dòng)和設計過(guò)程，

在這些設計過(guò)程推進(jìn)時(shí)，采用各種各樣的測試和多個(gè)部門(mén)參與的交互式討論和分析來(lái)決定產(chǎn)品設計方案和方向，而這其中的關(guān)鍵就是各種測試。為了驗證各種不同的設計，執行了遠超行業(yè)標準的大量測試，在量產(chǎn)之前陸續生產(chǎn)了多達1000余臺樣泵，對各項結構和功能參數進(jìn)行測試和分析，很終產(chǎn)品定型時(shí)，僅選用了結果很佳的結構和方案。

擴展測試

壽命測試在通過(guò)對有統計學(xué)意義數量的泵進(jìn)行加速壽命測試（長(cháng)時(shí)間暴露于加速損壞的條件下），對泵的可靠性進(jìn)行驗證。該測試可確保泵無(wú)故障運行的平均時(shí)間超過(guò)五年。

沖擊測試對一批泵在運行和非運行條件下進(jìn)行一系列測試，證明泵的抗沖擊性。每個(gè)泵受到30–120g的加速度，相當于從82厘米/32英寸高跌落（處于非運行狀態(tài)的泵）和從15厘米/6英寸高跌落（處于運行狀態(tài)的泵）。

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