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廣州潽拓光電科技有限公司--愛(ài)發(fā)科分子泵維修；

分子泵渦輪分子泵主要分為立式和臥式兩種。臥式渦輪分子泵，這種結構的分子泵是雙軸流的，吸氣口在兩組抽氣單元的中央，氣體吸入后，分別被左右兩側的葉列組合抽走。由于國內磁懸浮軸承技術(shù)起步較晚，將磁軸承技術(shù)應用到實(shí)際工業(yè)產(chǎn)品中仍存在一系列難題。 正是意識到這一問(wèn)題后，公司以此為科技攻關(guān)點(diǎn)，經(jīng)過(guò)多年的不懈努力，磁懸浮軸承技術(shù)研究取得突破。特別是針對復合分子泵的工作原理，研發(fā)出了適合復合分子泵用的磁懸浮高速電機，很后將兩者結合起來(lái)，成功研發(fā)出國內生產(chǎn)的磁懸浮復合分子泵，并探索實(shí)現了產(chǎn)業(yè)化。

9、對顆粒物或沉積物敏感； 10、噪音與振動(dòng)； 11、破碎問(wèn)題； 12、暴露大氣易引起事故； 綜上所述，渦輪分子泵的特點(diǎn)很多，但是隨著(zhù)我國機械、、電子、化工等領(lǐng)域的高速發(fā)展，渦輪分子泵想要擴大它的市場(chǎng)占有率，其需要克服的難題還有很多。這些不僅僅需要人士的專(zhuān)研，同時(shí)也需要各界的共同努力，對渦輪分子泵特點(diǎn)的進(jìn)一步研究，相信在未來(lái)是個(gè)值得突破的課題。

愛(ài)發(fā)科分子泵, 磁懸浮分子泵應用范圍***。公司研發(fā)總經(jīng)理介紹，在半導體生產(chǎn)線(xiàn)、真空鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)、汽車(chē)后視鏡鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)等領(lǐng)域都有著(zhù)廣闊的市場(chǎng)前景。 由于磁懸浮軸承技術(shù)具有無(wú)摩擦、、高精度、長(cháng)壽命、低噪音、無(wú)油污等突出優(yōu)點(diǎn)，一旦實(shí)現產(chǎn)業(yè)化，將成為能源、節能減排、真空機械等重大戰略領(lǐng)域的技術(shù)。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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分子泵常見(jiàn)的故障問(wèn)題：

1、分子泵為何會(huì )發(fā)生半邊熱，半邊冷的現象？

2、分子泵使用中發(fā)現油發(fā)黑，請問(wèn)油為什么會(huì )發(fā)黑？或者多長(cháng)時(shí)間油才會(huì )變黑？

3、分子泵在運轉過(guò)程中，出現頻率從正常下降至一定頻率后又恢復到正常，之后又下降至一定頻率，再恢復到正常，反反復復，更換電源后現象仍如此，請問(wèn)該現象如何解釋?zhuān)?

4、分子泵軸承為什么會(huì )燒毀

5、有防護網(wǎng)保護，為什么還會(huì )有大塊碎玻璃掉入泵內？

6、真空度很好的情況下，分子泵油為何會(huì )返到前級管道？

7、正常使用下，為什么分子泵油池會(huì )出現裂紋或者變形？

8、分子泵中經(jīng)常掉出頂絲、鏍釘等物體，如M5的頂絲等，請問(wèn)是否對分子泵的使用有影響？應如何解決？

9、膠圈口分子泵要用多少卡鉗，怎么使用才安全？

10、變頻器電源在什么情況下會(huì )造成程序丟失或者錯亂？

11、分子泵噪音大如何界定？是否有合格標準，是多少？

12、分子泵是否對冷卻有明確要求？如果風(fēng)冷需要外界溫度是多少？如水冷則對水有何具體要求？如未達到要求會(huì )出現什么后果？

13、分子泵電源存在接地、屏蔽等問(wèn)題，應如何做才是很佳方式？

14、變頻器電源，轉速上升過(guò)程中就自動(dòng)關(guān)機，即顯示“Poff”？

15、分子泵葉片破碎的原因？    

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半導體產(chǎn)業(yè)鏈IC制造行業(yè)屬于典型的技術(shù)密集型行業(yè)，產(chǎn)品技術(shù)含量非常高，同時(shí)對配套產(chǎn)業(yè)要求較高，其中就包括真空設備配套產(chǎn)業(yè)。真空設備（真空閥、真空泵、真空腔體及管道等）是半導體各工藝制程環(huán)節必備的通用設備，廣泛應用于芯片生產(chǎn)制造過(guò)程。  半導體制造設備及工藝流程半導體器件的生產(chǎn)制造工藝極其復雜，需要在高純度硅片上執行一系列精密的物理或者化學(xué)操作，例如摻入相應的其它元素、形成多種金屬薄膜和絕緣膜、進(jìn)行表面的刻蝕處理等。

這些復雜的生產(chǎn)制造工藝都需要在分子泵維持的高真空環(huán)境下進(jìn)行，而且對真空系統和真空設備的潔凈度也有著(zhù)很高的要求。分子泵在半導體設備中的應用.在半導體生產(chǎn)制造工藝中，分子泵廣泛應用于光刻機、薄膜沉積設備、刻蝕設備、離子注入機等關(guān)鍵設備。光刻機光刻機是生產(chǎn)大規模集成電路的設備，制造和維護需要高度的光學(xué)和電子工業(yè)基礎，世界上只有少數廠(chǎng)家掌握，因此光刻機價(jià)格昂貴。

光刻機光刻過(guò)程必須在高真空環(huán)境中實(shí)現，原因是極紫外光很嬌貴，在空氣中容易損耗。同時(shí)，在光刻過(guò)程中，設備的動(dòng)作時(shí)間誤差以皮秒計，這對磁懸浮分子泵的振動(dòng)值要求極高。（注：皮秒=兆分之一秒）薄膜沉積指在晶圓表面生成多種薄膜，這些薄膜可以是絕緣體、半導體或導體。它們由不同的材料組成，是使用多種工藝生長(cháng)或沉積的。

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