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廣州潽拓光電科技有限公司--ULVACYM-RL-1201A干式機組維修；

隨著(zhù)真空泵使用范圍越來(lái)越廣，了解其相關(guān)參數對于之后的生產(chǎn)工作的展開(kāi)十分重要。1、抽氣速率(體積流率)：當泵裝有標準試驗罩并按規定條件工作時(shí)，從試驗罩流過(guò)的氣體流量與在試驗罩上位置測得的平衡壓力之比。簡(jiǎn)稱(chēng)泵的抽速。即在一定的壓力、溫度下，真空泵在單位時(shí)間內從被抽容器中抽走的氣體體積。

極限壓力(極限真空)：泵裝有標準試驗罩并按規定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩定的比較低壓力。即真空泵的入口端經(jīng)過(guò)充分抽氣后所能達到的比較低的穩定的壓力。 3、起動(dòng)壓力： 泵無(wú)損壞起動(dòng)并有抽氣作用的壓力 4、前級壓力： 排氣壓力低于一個(gè)大氣壓力的真空泵的出口壓力。 5、比較大前級壓力： 超過(guò)了能使泵損壞的前級壓力。

比較大工作壓力：對應比較大抽氣量的入口壓力。在此壓力下，泵能連續工作而不惡化或損壞。 抽氣量： 流經(jīng)泵入口的氣體流量。 壓縮比： 泵對給定氣體的出口壓力與入口壓力之比。分子真空泵主要是利用高速旋轉的轉子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使氣體分子獲得定向運動(dòng)的速度，從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵牽引分子真空泵，氣體分子與高速運動(dòng)的轉子相碰撞而獲得動(dòng)量，被驅送到泵的出口。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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脈沖激光沉積系統PLD客戶(hù)案例：某大學(xué)電信系脈沖激光沉積系統

1.系統功能：主要用于Mn氧化物等復雜材料膜。

2.渦輪分子泵真空度要求:真空度

3.樣品尺寸:6英寸

4.基片旋轉,加熱溫度：750℃

5.膜生長(cháng)控制模式:鍍率/厚度/時(shí)間控制模式

真空系統配置:超高真空系統配置:渦輪分子泵400

接口:DN100CF-F

極限真空:

氮氣壓縮比:>1X1011渦輪分子泵80

接口:DN63CF-F

極限真空:

氮氣壓縮比:>1X1011隔膜泵MVP040

口徑:G1/4”

極限真空:≦5mbar

抽速:2.3m3/h

渦輪分子泵抽速范圍10至2700L/S,轉速很高90,000rpm,極限真空很大1E-11mbar,對小分子氣體具有更高的壓縮比,實(shí)踐證明渦輪分子泵運行時(shí)間可以達到100,000小時(shí)!分子泵提供復合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿(mǎn)足不同應用,推薦搭配旋片泵和干泵共同使用.更多分子泵典型應用>>

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