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Varian的分子泵幾乎涵蓋了所有可能的應用領(lǐng)域，瓦里安TV551，特有的機電一體化的設計，TV551維護，具有前級耐壓高的特性

Agilent安捷倫TV551分子泵驅動(dòng)器維修,Varian  Turbo-V550瓦里安渦輪分子泵控制器輸入電壓100-240VAC，輸出頻率700HZ，功率600VA?？梢钥刂频姆肿颖糜蠽arian  Turbo-V550，Turbo-V551等

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渦輪分子泵的抽氣原理是利用高速旋轉的轉子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。分子泵輸送氣體應滿(mǎn)足二個(gè)必要條件：1). 渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)下工作。2). 分子泵的轉子葉片必須具有與氣體分子速度相近的線(xiàn)速度

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安捷倫的分子泵設計是免日常維護的。由于工藝環(huán)境差異，分子泵的工作壽命差別很大，但是如果分子泵已經(jīng)工作了很長(cháng)時(shí)間（5年以上），或者出現了噪音、溫度、功率異常，及時(shí)的對其進(jìn)行維護保養可以大大延長(cháng)其使用壽命。

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Varian TV401-301 的渦輪轉子采用Varian磚利的“MacroTorr”技術(shù)設計加工而成，整個(gè)渦輪轉子整體成型，共有由11層葉片組成，qian七層為標準葉片，每層的角度從高到低，后四層為Varian 磚利技術(shù)的“Macrotorr”die片組成，渦輪轉子其在分子泵內部以60000轉／分鐘的速度高速旋轉

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真空泵油積碳，發(fā)黑，像油泥一樣，所以在排氣口處出現冒油煙。出現這種情況時(shí)，要把真空泵油更換掉，將泵從系統上拆下，用干凈的方盤(pán)接在放油孔下。旋油塞和放油塞，放出污油。斷續啟動(dòng)電機，使各真空小室內的油全部排出。然后從各抽氣管加入干凈的真空泵油200~300CC 。斷續啟動(dòng)電動(dòng)機，再次清洗各真空室。這樣經(jīng) 2~3次重復清洗，放光清洗用油，旋上放油塞。從注油塞處加入干凈的真空泵油到視窗口的中心位置，旋緊注油塞不使漏氣。