廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子真空泵 高真空分子泵維修
在某些中真空應用中，需要進(jìn)入10-1Pa范圍，這對羅茨泵的二級機組往往難于實(shí)現，而使用二級羅茨泵串接的三級機組可使真空度提高一個(gè)數量級而進(jìn)入10-1Pa，所以中真空應用也常用三級機組。由于分子增壓泵在10-1Pa可以滿(mǎn)抽速，所以亦可以在三級中真空機組中取代兩級羅茨泵。一般地講，長(cháng)時(shí)間工作在中真空的低端壓力范圍的羅茨泵，分子增壓泵可以完全取代。而長(cháng)時(shí)間工作在中真空*端壓力范圍的羅茨泵相對而言應該較少，因為這一壓力范圍前級泵往往還具有強勁的抽速。高真空分子泵維修
一、真空泵正常運轉使用時(shí)，每三天對以下內容進(jìn)行一次點(diǎn)檢：
A、泵油是否在游標范圍以?xún)?
B、泵油是否有變黃變黑、混濁現象
C、聲音是否出現異響
D、真空泵運行時(shí)是否出現漏油
當泵所需的真空度或氣體壓力不高時(shí)，可優(yōu)先在單級泵中選取。如果真空度或排氣壓力較高，單級泵往往不能滿(mǎn)足，或者，要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量，即要求性能曲線(xiàn)在較高真空度時(shí)較平坦，可選用兩級泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可選用水環(huán)－大氣泵或水環(huán)－羅茨真空機組作為抽真空裝置。高真空分子泵維修
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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子真空泵 adixen ATP150分子泵維修
在某些中真空應用中，需要進(jìn)入10-1Pa范圍，這對羅茨泵的二級機組往往難于實(shí)現，而使用二級羅茨泵串接的三級機組可使真空度提高一個(gè)數量級而進(jìn)入10-1Pa，所以中真空應用也常用三級機組。由于分子增壓泵在10-1Pa可以滿(mǎn)抽速，所以亦可以在三級中真空機組中取代兩級羅茨泵。一般地講，長(cháng)時(shí)間工作在中真空的低端壓力范圍的羅茨泵，adixen ATP150分子泵維修，分子增壓泵可以完全取代。而長(cháng)時(shí)間工作在中真空壓力范圍的羅茨泵相對而言應該較少，因為這一壓力范圍前級泵往往還具有強勁的抽素。adixen ATP150分子泵維修
在羅茨真空泵中吸入氣體被壓縮的過(guò)程不是連續的，而是突然的。吸入氣體隨轉子轉動(dòng)而被封閉于腔內，又隨轉子的旋轉，使腔內的氣體突然與排氣口接通。由于排氣一側的氣體壓力較高，排氣口處的氣體就向腔中返沖，然后又隨著(zhù)轉子的旋轉而被驅趕排出泵外。這樣的過(guò)程在每旋轉一周中兩個(gè)轉子共進(jìn)行四次排氣過(guò)程。adixen ATP150分子泵維修
對于較大型的高真空應用設備，adixen ATP150分子泵維修，也可適當加強前級泵的預抽能力，進(jìn)一步縮短抽氣時(shí)間，由于預抽時(shí)間與整個(gè)排氣過(guò)程相比很短，所以前級泵的使用時(shí)間也很短，因此可以兼作多套設備的預抽作用，而這往往是非?，F實(shí)的。這就使規?；瘧玫恼婵諜C組得到大大的簡(jiǎn)化。adixen ATP150分子泵維修
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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子真空泵 磁懸浮渦輪分子泵維修
含加熱模塊的磁懸浮分子泵主要用于半導體制造設備，在集成電路刻蝕等工藝過(guò)程中，部分工藝氣體容易冷卻凝結，附著(zhù)在分子泵轉子及內壁，造成分子泵轉子不平衡量增大或抽氣通道阻塞，影響分子泵的穩定運行。加上加熱模塊可以適當提高泵體溫度，降低工藝氣體凝結，提高分子泵穩定性及壽命。 磁懸浮渦輪分子泵維修
我們所稱(chēng)呼的“質(zhì)譜儀單元”是氦氣檢漏儀的核xin部分。氣體從檢漏 儀的入口被導入質(zhì)譜儀單元。在這里用高能量的電子束對帶電的氣 體粒子進(jìn)行撞擊 電子束利用金屬絲在高溫下產(chǎn) 生。如果中性氣體粒子層的電子被撞擊，它會(huì )從電子層脫出。結 果，帶正電的氣體粒子—離子—留了下來(lái)。大部分導入的氣體粒子被電子之間的碰撞電離。 磁懸浮渦輪分子泵維修
分子泵的工作區間是有限制的，*大啟動(dòng)壓強也要在100pa，直接大氣啟動(dòng)只會(huì )長(cháng)期處于過(guò)載狀態(tài)運行，并無(wú)抽氣效果。 磁懸浮渦輪分子泵維修
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