廣州潽拓光電科技有限公司——OSAKA真空分子泵
大阪真空渦輪分子泵越來(lái)越多地用于現代半導體工業(yè)。 濺射、蝕刻、蒸發(fā)、注入、分子束外延和離子處理等設備都需要在真空環(huán)境中運行。 近十年來(lái),國內外渦輪分子泵得到了顯著(zhù)的改進(jìn)和發(fā)展。 在渦輪分子泵的應用日益增多的情況下,干式前級泵并沒(méi)有得到廣泛的推廣和應用,有時(shí)不得不使用油封機械泵作為渦輪分子泵的前級泵。 因此,針對這種情況,渦輪分子泵的合理選擇和正確運行顯得非常重要。
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大阪渦輪(復合)分子泵
用 途■小型實(shí)驗設備的排氣■裝載室,搬送式排氣■分析?測量?jì)x器的排氣■吸附?搬送■的排氣■封裝排氣■電子,離子源的排氣■干燥■濺射蒸鍍等PVD設備排氣■小型爐排氣■分子泵等高真空泵的輔助泵
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大阪真空的電機直連羅茨真空泵(RD系列,RA系列),設計緊湊,易于串聯(lián)成真空泵組。同時(shí)提供皮帶驅動(dòng)式大型羅茨真空泵(R系列),適用于宇宙試驗等大容積的排氣。
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羅茨泵運轉條件,與進(jìn)口壓強和出口壓強的壓差有關(guān)。如果超過(guò)允許壓差,電動(dòng)機負荷會(huì )加大,同時(shí)導致過(guò)熱。
大阪真空的羅茨系列有可安裝旁通閥,在壓差超過(guò)允許值時(shí)自動(dòng)進(jìn)行回氣。所以在進(jìn)口壓力高的領(lǐng)域也能*大限度地發(fā)揮排氣能力
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立式渦輪分子泵的優(yōu)點(diǎn)是:真空系統的結構簡(jiǎn)單,在改裝舊有擴散泵系統時(shí)可直接替代擴散泵而無(wú)須改動(dòng)真空系統結構;其次是泵內只有一組渦輪葉片,因而價(jià)格較低廉
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