廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫Turbo-V 2300真空泵維修
分子泵也廣泛應用于核物理、電真空和表面科學(xué)等領(lǐng)域,由于半導體行業(yè)發(fā)展迅速,真空泵的市場(chǎng)拓展速度很快。典型的真空泵制造商有瓦里安(安捷倫),德國普發(fā),歐瑞康萊寶, Busch,和 Osaka Vacuum等公司,其他制造商主要是國產(chǎn)儀器廠(chǎng)商,如北京北儀創(chuàng )新真空技術(shù)有限責任公司,成都南光機器有限公司,中科院沈陽(yáng)科學(xué)儀器等企業(yè)。但是,無(wú)論是在技術(shù)還是在市場(chǎng)發(fā)展上,國外的儀器產(chǎn)品都遠遠超過(guò)國內儀器產(chǎn)品。
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進(jìn)出口法蘭、冷卻水安裝
?、?、泵入口:對正、對稱(chēng)擰緊
?、?、泵出口:防止錯位
?、?、冷卻水:無(wú)漏水;入口水壓0.2MPa;水溫20±5℃;水質(zhì)澄清無(wú)沉淀
注意:
環(huán)境溫度:風(fēng)冷需小于32℃;水冷可至40℃
入口壓強:強制風(fēng)冷<0.1Pa;自然風(fēng)冷<0.01Pa
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氣載、熱氣體、突變氣載
a 引起問(wèn)題:溫度升高;動(dòng)靜片變形;轉子上移;潤滑失效5℃原則;軸承失效
b. 措施:加大水冷;增加冷卻裝置;縮短換油時(shí)間7磁場(chǎng)屏蔽出現的問(wèn)題
旋轉的轉子在磁場(chǎng)中產(chǎn)生渦電流,將使轉子發(fā)熱,將產(chǎn)生如下問(wèn)題:
?、?、轉子與定子間隙越來(lái)越小,造成碎片;
?、?、轉子溫升過(guò)大造成磁性電機轉子退磁;
?、?、由于發(fā)熱會(huì )減弱鋁材料的強度,造成碎泵;
?、?、轉子發(fā)熱,改變轉子和軸的相對位置,造成碎泵。
分子泵在磁場(chǎng)中運轉時(shí),徑向和軸向磁場(chǎng)強度均不得大于30Gs。原則上,大于30Gs應使用導磁材料屏蔽。
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為什么要選擇渦旋式無(wú)油干泵IDP-3?極低維護成本IDP-3的采購價(jià)格及維護包價(jià)格只是隔膜泵的一半更換操作快捷15分鐘即可完成的密封條更換工作降低音頻噪聲—提高用戶(hù)體驗使用精密的測聲計,并通過(guò)ISO標準進(jìn)行測試:在操作人員位置的測試結果表明,IDP-3的噪聲會(huì )小于油封式真空泵2dB
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安捷倫真空:分子泵使用中的注意事項:
分子泵是渦輪分子泵、牽引分子泵和復合分子泵的統稱(chēng),是一種非常常見(jiàn)的獲得高真空和超高真空的設備。分子泵內部有高速旋轉的轉子,支撐轉子平滑轉動(dòng)的軸承承擔了很大的負荷,正確的使用和及時(shí)的保養,對分子泵軸承乃至整個(gè)分子泵的正常工作意義重大。
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安捷倫提供TPS Mini緊湊型、TPS Flexy自由組合式、TPS Compact便攜式、TPS Bench臺式、TPS Mobile可移動(dòng)式5種分子泵機組,形式多樣,可根據客戶(hù)應用和需求進(jìn)行選擇。前級泵分油式和干式兩類(lèi),前級油封旋片泵的抽速范圍從1.8-20.5m3/h,前級干泵提供的抽速范圍從0.6-30m3/h,極大的滿(mǎn)足了不同客戶(hù)的應用需求。配置的FRG700全量程主動(dòng)式真空計為皮拉尼和冷陰極組合式真空計,測量范圍從大氣至5*10-9mabr,滿(mǎn)足了一測量真空的應用需求,簡(jiǎn)單方便。多功能,快速變化的樣品架,可以測量固體、薄 膜、粉末以及液體樣品。
安捷倫擴散泵特點(diǎn)用冷卻水少,對冷卻水溫度要求不高與普通的擴散泵相比,同樣規格的泵,安捷倫擴散泵僅需要50%甚至更低的冷卻水流量。而且,安捷倫擴散泵對冷卻水的溫度要求不高,只要保證排放溫度不高于54度即可,當水壓較低排水溫度高于54度時(shí),還可以采用將冷卻水管并聯(lián)的方式擴展使用區間。