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廣州潽拓光電科技有限公司--愛(ài)發(fā)科渦輪分子泵維修出售；

咱們平時(shí)總是說(shuō)這對情侶很般配，經(jīng)常用郎才女貌，天作之合來(lái)形容他們。其實(shí)世界萬(wàn)物也總是相伴而生，在真空的世界里，也有一對不離不棄的“超級情侶”。我們習慣稱(chēng)這對超級伴侶為前級真空泵和高真空泵。前級泵必須滿(mǎn)足特定的抽氣速度和極限真空，并且可以持續的無(wú)故障長(cháng)時(shí)間運行，高真空泵極限真空極高，只有分子泵才能有此能力。

低溫泵的結構通過(guò)2段式實(shí)現高真空。冷頭有2段、１段冷頭有較大的冷凍能力，可冷卻至80K(卡爾文）以下。至此，主要是水分的排出，接下來(lái)2段冷頭進(jìn)一步冷卻，排出N2，O2，Ar，H2等分子，以獲得更高的真空。低溫泵的冷凍機為2段式，1段具有較大的制冷能力，可以冷卻至80K或更低，2段的制冷能力較小，可以冷卻至10至12K。15K擋板(1)(冷凝板)和15K擋板(2)(吸附板)安裝在冷凍機的2段上80K擋板和80K屏蔽桶安裝在制冷能力較大的1段上，防止受到室溫的熱(輻射)。另外，為了防止吸附劑表面被覆蓋，吸附劑被安裝在濃縮性氣體不能進(jìn)入的擋板的內側。

選擇愛(ài)發(fā)科低溫泵的理由

愛(ài)發(fā)科低溫泵在LCD產(chǎn)業(yè)市占率100%、OLED產(chǎn)業(yè)市占率95%、在光學(xué)薄膜制造方面市占率85%。

愛(ài)發(fā)科低溫泵根據FPD、半導體、電子機器、光學(xué)、研究開(kāi)發(fā)等應用領(lǐng)域的不同，從小型到大型有廣泛的產(chǎn)品陣容供您選擇。

愛(ài)發(fā)科設立了低溫泵開(kāi)發(fā)&制造基地，形成了完善的銷(xiāo)售和售后體系。

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在正常工作時(shí)，可把水溫調節到略高于來(lái)消除泵體外部可能形成的冷凝物。

啟動(dòng)系統要先接通冷卻水流，打開(kāi)前級管道閥門(mén)，再同時(shí)啟動(dòng)機械泵和渦輪分子泵。在泵加速到額定轉速（一般為5到10min）后，就可加注液氮冷阱。此后就可按上節所介紹的步驟對真空室進(jìn)行抽氣。所給出的不用高真空閥門(mén)的抽氣系統的操作，要比有閥門(mén)的抽氣系統簡(jiǎn)便得多。操作時(shí)，先打開(kāi)冷卻水和前級管道閥，并同時(shí)啟動(dòng)機械泵和渦輪分子泵。如粗抽泵選擇得當，使真空室的粗抽時(shí)間等于加速時(shí)間，那么真空系統就能在沒(méi)有泵油蒸氣返流的情況下把真空室抽到其本底壓力。

1-檢漏接口閥；2-渦輪分子泵；3-放氣閥；4-電離規；5-熱傳導規；6-真空管路閥；7-電磁放氣閥；8-機械泵。圖2 不用閥門(mén)的渦輪分子泵抽氣系統無(wú)閥門(mén)系統在放氣和停機時(shí)，首先關(guān)閉前級管道閥，等泵轉速下降到很大轉速的50%時(shí)再在泵的上方充入干燥氣體。當系統充到大氣壓時(shí)應關(guān)閉放氣閥門(mén)，否則會(huì )造成真空室過(guò)壓。然后按上述介紹的方法關(guān)掉機械泵并停掉冷卻水。

沒(méi)有單設粗抽管路的渦輪分子泵系統的操作：先打開(kāi)分子泵冷卻系統和前級管路閥，并同時(shí)啟動(dòng)前級（粗抽）機械泵和渦輪分子泵。如果粗抽泵（前級泵）選擇得當，使真空室的粗抽時(shí)間等于分子泵的加速（啟動(dòng)）時(shí)間，則真空系統就能在沒(méi)有泵油蒸汽返流的情況下把真空室抽到其本底壓力。

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分子泵是氦質(zhì)譜檢漏儀中獲得高真空重要部,是氦質(zhì)譜檢漏儀中不可或缺關(guān)鍵部件,分子泵性能直接影響檢漏儀性能參數的好壞,分子泵的發(fā)展直接影響著(zhù)氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)。本文重點(diǎn)討論分子泵轉速對氦質(zhì)譜檢漏的影響。2、逆擴散型檢漏儀逆擴散型的檢漏儀的檢漏口是連接到高真空泵與低真空泵之間,所以被檢試件的可檢漏壓力就是高真泵的前級耐壓。如果試件壓力超過(guò)這個(gè)壓力,將使高真空泵不能正常工作。普通渦輪分子泵的前級耐壓,一般不超過(guò)50Pa,遠達不到高壓檢漏的要求。

1980年國際上出現一種稱(chēng)之為“復合型”的分子泵,現今,其前級耐壓很高已達2000Pa。這種泵用作氦質(zhì)譜檢漏儀的高真空泵,可直接實(shí)現在高的試件壓力下的檢漏。用復合分子泵構成的一種可實(shí)現高壓強下的檢漏儀,其工作過(guò)程如下。當被檢試件抽至1500Pa,V1開(kāi)，氨氣逆擴散穿越整個(gè)分子泵進(jìn)入質(zhì)譜室，實(shí)現儀器的逆擴散檢漏。

若能進(jìn)一步將試件抽至200Pa以下，則V2關(guān)閉，V3打開(kāi)，從泵的中間口逆擴散至質(zhì)譜室，若能進(jìn)一步將試件抽至40Pa以下，則V3關(guān)閉，V4打開(kāi)，氦氣從泵的上部逆擴散進(jìn)入質(zhì)譜室，或直接進(jìn)入質(zhì)譜室(常規檢漏）。這種從高壓檢大漏到實(shí)現檢微漏的全自動(dòng)過(guò)程，一氣呵成，不僅，也便于漏率的定量，由于每個(gè)狀態(tài)下的閥門(mén)流導和泵的壓縮比等參數都是固定不變的，儀器只需1次校準即可。

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