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廣州潽拓光電科技有限公司

愛(ài)發(fā)科渦輪分子泵維修采購-廣州潽拓光電

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  • 主營(yíng)產(chǎn)品:分子泵控制器,真空分子泵,AE電源,真空油泵,真空系統
  • 公司地址:廣州市番禺區化龍鎮潭山環(huán)村公路1-1號
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渦輪分子泵的工作原理,結構型式及其優(yōu)缺點(diǎn)。

為了利用渦輪分子泵,獲得清潔真空,國外多利用干式機械泵作其前級泵,構成無(wú)油的真空系統。然而,目前國內渦輪分子泵多以油封機械泵為其前級泵,構成了有油真空系統,如果操作不當,很難避免油蒸汽返流,對真空系統的污染。利用有油系統獲得清潔真空,國內外都有一些有效防止返流的措施和成功的操作經(jīng)驗。



應用:當今,現代化的半導體行業(yè)中,越來(lái)越多地應用渦輪分子泵。如濺射、刻蝕、蒸發(fā)、注入、分子束外延、離子加工等設備都需要在真空環(huán)境下運行。又如電子顯微鏡,表面分析儀器,殘余氣體分析儀及氦質(zhì)譜檢漏儀等也經(jīng)常使用渦輪分子泵來(lái)抽真空。此外,在宇宙模擬設備、核聚變裝置、太陽(yáng)能集熱管鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)上也都改用大型渦輪分子泵或低溫泵來(lái)代替油擴散泵系統,以防止油蒸汽的污染。



因此,很近十幾年來(lái),渦輪分子泵,在國內、外都得到了顯著(zhù)的改進(jìn)和發(fā)展。在渦輪分子泵的應用日益增加干式的前級泵還沒(méi)有大量普及和應用的情況下,有時(shí)還不得不用油封機械泵來(lái)作渦輪分子泵的前級泵。因此,針對這種現狀,對渦輪分子泵的合理選用和正確操作是很重要的。

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渦輪分子泵抽速范圍10至2700L/S,轉速很高90,000rpm,極限真空很大1E-11mbar,對小分子氣體具有更高的壓縮比,實(shí)踐證明渦輪分子泵運行時(shí)間可以達到100,000小時(shí)!分子泵提供復合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿(mǎn)足不同應用,推薦搭配旋片泵和干泵共同使用.更多分子泵典型應用>>



分子泵故障:1、分子泵為何會(huì )發(fā)生半邊熱,半邊冷的現象?原因:附近有光照或其他熱源解決方法:避免光照或熱源2、分子泵使用中發(fā)現油發(fā)黑,請問(wèn)油為什么發(fā)黑?或者多長(cháng)時(shí)間油才會(huì )變黑?原因:冷卻不良,負載太大解決方法:檢查冷卻系統,檢查真空系統



分子泵在運轉過(guò)程中,出現頻率從正常下降至一定頻率后又恢復到正常,之后又下降至一定頻率,再恢復到正常,反反復復,更換電源后現象仍如此,請問(wèn)該現象如何解釋?zhuān)吭颍贺撦d太大,系統真空度不夠解決方法:檢查系統4、分子泵軸承為什么會(huì )燒毀原因:①缺乏定期維護②冷卻不良導致過(guò)熱③沒(méi)有及時(shí)換油④抽除的氣體中含有大量粉塵解決方法:①及時(shí)維護②檢查冷卻系③及時(shí)換油④隔離粉塵

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半導體產(chǎn)業(yè)鏈IC制造行業(yè)屬于典型的技術(shù)密集型行業(yè),產(chǎn)品技術(shù)含量非常高,同時(shí)對配套產(chǎn)業(yè)要求較高,其中就包括真空設備配套產(chǎn)業(yè)。真空設備(真空閥、真空泵、真空腔體及管道等)是半導體各工藝制程環(huán)節必備的通用設備,廣泛應用于芯片生產(chǎn)制造過(guò)程。  半導體制造設備及工藝流程半導體器件的生產(chǎn)制造工藝極其復雜,需要在高純度硅片上執行一系列精密的物理或者化學(xué)操作,例如摻入相應的其它元素、形成多種金屬薄膜和絕緣膜、進(jìn)行表面的刻蝕處理等。



這些復雜的生產(chǎn)制造工藝都需要在分子泵維持的高真空環(huán)境下進(jìn)行,而且對真空系統和真空設備的潔凈度也有著(zhù)很高的要求。分子泵在半導體設備中的應用.在半導體生產(chǎn)制造工藝中,分子泵廣泛應用于光刻機、薄膜沉積設備、刻蝕設備、離子注入機等關(guān)鍵設備。光刻機光刻機是生產(chǎn)大規模集成電路的設備,制造和維護需要高度的光學(xué)和電子工業(yè)基礎,世界上只有少數廠(chǎng)家掌握,因此光刻機價(jià)格昂貴。



光刻機光刻過(guò)程必須在高真空環(huán)境中實(shí)現,原因是極紫外光很嬌貴,在空氣中容易損耗。同時(shí),在光刻過(guò)程中,設備的動(dòng)作時(shí)間誤差以皮秒計,這對磁懸浮分子泵的振動(dòng)值要求極高。(注:皮秒=兆分之一秒)薄膜沉積指在晶圓表面生成多種薄膜,這些薄膜可以是絕緣體、半導體或導體。它們由不同的材料組成,是使用多種工藝生長(cháng)或沉積的。


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