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廣州潽拓光電科技有限公司--愛(ài)發(fā)科渦輪分子泵報價(jià)維修；

分子泵是氦質(zhì)譜檢漏儀中獲得高真空重要部,是氦質(zhì)譜檢漏儀中不可或缺關(guān)鍵部件,分子泵性能直接影響檢漏儀性能參數的好壞,分子泵的發(fā)展直接影響著(zhù)氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)。本文重點(diǎn)討論分子泵轉速對氦質(zhì)譜檢漏的影響。2、逆擴散型檢漏儀逆擴散型的檢漏儀的檢漏口是連接到高真空泵與低真空泵之間,所以被檢試件的可檢漏壓力就是高真泵的前級耐壓。如果試件壓力超過(guò)這個(gè)壓力,將使高真空泵不能正常工作。普通渦輪分子泵的前級耐壓,一般不超過(guò)50Pa,遠達不到高壓檢漏的要求。

1980年國際上出現一種稱(chēng)之為“復合型”的分子泵,現今,其前級耐壓很高已達2000Pa。這種泵用作氦質(zhì)譜檢漏儀的高真空泵,可直接實(shí)現在高的試件壓力下的檢漏。用復合分子泵構成的一種可實(shí)現高壓強下的檢漏儀,其工作過(guò)程如下。當被檢試件抽至1500Pa,V1開(kāi)，氨氣逆擴散穿越整個(gè)分子泵進(jìn)入質(zhì)譜室，實(shí)現儀器的逆擴散檢漏。

若能進(jìn)一步將試件抽至200Pa以下，則V2關(guān)閉，V3打開(kāi)，從泵的中間口逆擴散至質(zhì)譜室，若能進(jìn)一步將試件抽至40Pa以下，則V3關(guān)閉，V4打開(kāi)，氦氣從泵的上部逆擴散進(jìn)入質(zhì)譜室，或直接進(jìn)入質(zhì)譜室(常規檢漏）。這種從高壓檢大漏到實(shí)現檢微漏的全自動(dòng)過(guò)程，一氣呵成，不僅，也便于漏率的定量，由于每個(gè)狀態(tài)下的閥門(mén)流導和泵的壓縮比等參數都是固定不變的，儀器只需1次校準即可。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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用于氦質(zhì)譜檢漏儀的分子泵的多為抽速60L/s左右的小型泵,對氦氣的壓縮比在1000左右。分子泵的抽速與動(dòng)葉輪的轉速有關(guān)，只有動(dòng)葉輪的切向速度與氣體分子的熱運動(dòng)速度相當時(shí)才有抽氣能力,且抽速隨轉速而增,所以抽速在50~150L/s之間的小型分子泵的轉速通常達到90000~40000轉/分。分子泵的另一性能指標是,壓縮比，所謂壓縮比是指分子泵的排氣口壓力與進(jìn)氣口壓力之比,壓縮比于轉速及分子量的關(guān)系是:

Kcxexp[GXu(M)17]式中:G為與葉輪幾何形狀有關(guān)的常數;U為葉輪轉速;M為氣體的分子量?？梢?jiàn)分子量大的氣體壓縮比大。氦質(zhì)譜檢漏儀中,逆擴散檢漏正是利用分子泵對小分子量氦氣的低壓縮比，而且，還通過(guò)降低葉輪轉速，降低對He的壓縮比,從而提高對氦氣的響應靈敏度。

改變氦質(zhì)譜檢漏儀的分子泵的轉速,分子泵的壓縮比會(huì )發(fā)生變化,分子泵的轉速由1500Hz改變?yōu)?000Hz,分子泵的壓縮比會(huì )變小，進(jìn)入質(zhì)譜室的氦分壓增加，檢漏儀檢測到氦信號會(huì )變大，試驗中,檢漏儀在1000Hz下的信號是1500Hz信號的3.5倍，也就是說(shuō)分子泵在1500Hz的壓縮比;是1000Hz的3.5倍。

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ARPES光束線(xiàn)客戶(hù)案例:某光源ARPES光束線(xiàn)真空系統,真空系統是同步輻射光束線(xiàn)的重要組成部分,只有在真空環(huán)境中運行,光學(xué)元件才能夠將同步輻射光傳輸到試驗站,真空系統的作用就是獲得并維持合理的真空度,保證光束線(xiàn)的穩定運行.此系統搭配愛(ài)發(fā)科分子泵80,及配套真空規.

真空系統要求(分子泵):

1.靜態(tài)真空(無(wú)束流):5x10-8Pa,動(dòng)態(tài)真空(有束流):

2.真空系統基本配置:離子泵+無(wú)油分子泵+冷陰極真空規管+氣體分析儀超高真空系統配置:

渦輪分子泵

接口:DN100CF-F

極限真空:氮氣壓縮比:>1X1011渦輪分子泵80

接口:DN63CF-F

極限真空:氮氣壓縮比:>1X1011殘余氣體分析儀PrismaPro

質(zhì)量數:1-300amu

四極桿直徑／長(cháng)度:6/125mm

很大工作壓力FhPa:5X10-4

渦輪分子泵抽速范圍10至2700L/S,轉速很高90,000rpm,極限真空很大1E-11mbar,對小分子氣體具有更高的壓縮比,實(shí)踐證明渦輪分子泵運行時(shí)間可以達到100,000小時(shí)!分子泵提供復合軸承分子泵和五軸全磁浮分子泵二大系列滿(mǎn)足不同應用,推薦搭配旋片泵和干泵共同使用.更多分子泵典型應用>>

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