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廣州潽拓光電科技有限公司——瓦里安進(jìn)口分子泵維修廠(chǎng)家真空機組維修

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多級羅茨真空泵是干式羅茨真空泵中的一種，在美日等國家較多的應用與半導體及化工行業(yè)。它的“多級”是相對于傳統的一個(gè)轉子的“單級”羅茨真空泵而言，形式上多個(gè)轉子串聯(lián)，中間由中間壁隔離形成多個(gè)相對獨立的泵腔，各級泵腔通過(guò)各級的進(jìn)氣口與排氣口相連形成氣流通道。各級轉子的直徑和形狀是相同的，但是寬度有可能相同也可能不同。不同的話(huà)高壓側方會(huì )變窄。真空機組維修

是真空機組的抽氣能力不夠還是漏率高；或者兩者兼而有之，需要耐心觀(guān)察和記錄，從中找出故障原因，比如，抽空時(shí)間相同，而真空度偏低，這時(shí)候，關(guān)閉高壓閥，如真空計指針很快下降，多數情況是真空室漏了，應先查出漏點(diǎn)。如真空計指針下降很慢，多數情況是真空機組抽氣能力不夠，這時(shí)可將重點(diǎn)放到查找真空泵及閥門(mén)的問(wèn)題上，看是哪里出現了泄漏，或是擴散泵油被污染了，氧化了等；或是前級管路密封不好，泵油不足；或是泵有油乳化，軸封漏油，閥片損壞等故障。真空機組維修

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低溫泵抽氣系統。低溫泵抽氣系統用低溫泵作為主泵，并聯(lián)或串聯(lián)分子篩吸附泵，也可以用機械泵作為預抽真空泵，但若是油封機械泵就必須在機械泵的入口管路上設置油蒸氣捕集器。低溫泵抽氣系統不產(chǎn)生碳氫化合物、金屬膜的剝落碎片以及自身帶來(lái)的氣體污染，是一種清潔的抽氣手段。20K的低溫泵可以得到10-8Pa的真空度，4.2K的低溫泵可以得到10-10～10-12Pa的真空度。varian瓦里安分子泵維修費用

高通量 Agilent Turbo-V 1K-G 渦輪分子泵是一種專(zhuān)*真空泵系統，抽速可達 1000 L/s。Turbo-V 1K-G 專(zhuān)為工業(yè)應用而設計，尤其可用作薄膜沉積設備的渦輪分子泵。其葉片級數和整個(gè)泵結構均經(jīng)過(guò)優(yōu)化，能夠在高溫負載和極高*氣流下工作。varian瓦里安分子泵維修費用

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分子泵應用常見(jiàn)問(wèn)題：

1、分子泵運行以前請確定分子泵安裝妥當，電纜恰當聯(lián)接并確定處在卡緊情況。

2、分子泵在接電源后及一切正常運行時(shí)旋轉工件是由磁場(chǎng)力支撐點(diǎn)飄浮的，請盡.量不必碰觸泵殼及控制板，非常是電纜，肯定不可以碰觸。

電壓的不穩定，特別對磁浮類(lèi)的分子泵損傷較大。前級泵的效率差;我們知道腔體內的大部分氣體首先是通過(guò)前級泵抽出，真空達到一定程度分子泵才會(huì )啟動(dòng)。如果前級泵的效率差，分子泵就會(huì )比較吃力，啟動(dòng)速度慢，抽氣時(shí)間長(cháng)，電流高，分子泵溫度升高等。

間隙一般為0.1～0.8毫米；不需要用油潤滑。轉子型線(xiàn)有圓弧線(xiàn)、漸開(kāi)線(xiàn)和擺線(xiàn)等。漸開(kāi)線(xiàn)轉子泵的容積利用率高，加工精度易于保證，故轉子型線(xiàn)多用漸開(kāi)線(xiàn)型。羅茨真空泵的轉速可高達3450～4100轉/分;抽氣速率為30～10000升/秒（1升=10-3米3）；極限真空：?jiǎn)渭墳?.5×10-2帕，雙級為1×10-3帕。真空渦輪分子泵維修

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