廣州潽拓光電科技有限公司——瓦里安進(jìn)口分子泵維修廠(chǎng)家真空機組維修
zhuan業(yè)進(jìn)口分子泵varian瓦里安真空泵維修代理商廣州潽拓光電科技有限公司是varian瓦里安真空泵維修廠(chǎng)家,我們采用zhuan業(yè)的維修修復工具,同時(shí)選擇質(zhì)優(yōu)的配件達到varian瓦里安真空泵維修后的良好的性能運轉,售后保修,技術(shù)咨詢(xún)等售后服務(wù)措施。
多級羅茨真空泵是干式羅茨真空泵中的一種,在美日等國家較多的應用與半導體及化工行業(yè)。它的“多級”是相對于傳統的一個(gè)轉子的“單級”羅茨真空泵而言,形式上多個(gè)轉子串聯(lián),中間由中間壁隔離形成多個(gè)相對獨立的泵腔,各級泵腔通過(guò)各級的進(jìn)氣口與排氣口相連形成氣流通道。各級轉子的直徑和形狀是相同的,但是寬度有可能相同也可能不同。不同的話(huà)高壓側方會(huì )變窄。真空機組維修
是真空機組的抽氣能力不夠還是漏率高;或者兩者兼而有之,需要耐心觀(guān)察和記錄,從中找出故障原因,比如,抽空時(shí)間相同,而真空度偏低,這時(shí)候,關(guān)閉高壓閥,如真空計指針很快下降,多數情況是真空室漏了,應先查出漏點(diǎn)。如真空計指針下降很慢,多數情況是真空機組抽氣能力不夠,這時(shí)可將重點(diǎn)放到查找真空泵及閥門(mén)的問(wèn)題上,看是哪里出現了泄漏,或是擴散泵油被污染了,氧化了等;或是前級管路密封不好,泵油不足;或是泵有油乳化,軸封漏油,閥片損壞等故障。真空機組維修
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低溫泵抽氣系統。低溫泵抽氣系統用低溫泵作為主泵,并聯(lián)或串聯(lián)分子篩吸附泵,也可以用機械泵作為預抽真空泵,但若是油封機械泵就必須在機械泵的入口管路上設置油蒸氣捕集器。低溫泵抽氣系統不產(chǎn)生碳氫化合物、金屬膜的剝落碎片以及自身帶來(lái)的氣體污染,是一種清潔的抽氣手段。20K的低溫泵可以得到10-8Pa的真空度,4.2K的低溫泵可以得到10-10~10-12Pa的真空度。varian瓦里安分子泵維修費用
高通量 Agilent Turbo-V 1K-G 渦輪分子泵是一種專(zhuān)*真空泵系統,抽速可達 1000 L/s。Turbo-V 1K-G 專(zhuān)為工業(yè)應用而設計,尤其可用作薄膜沉積設備的渦輪分子泵。其葉片級數和整個(gè)泵結構均經(jīng)過(guò)優(yōu)化,能夠在高溫負載和極高*氣流下工作。varian瓦里安分子泵維修費用
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分子泵應用常見(jiàn)問(wèn)題:
1、分子泵運行以前請確定分子泵安裝妥當,電纜恰當聯(lián)接并確定處在卡緊情況。
2、分子泵在接電源后及一切正常運行時(shí)旋轉工件是由磁場(chǎng)力支撐點(diǎn)飄浮的,請盡.量不必碰觸泵殼及控制板,非常是電纜,肯定不可以碰觸。
電壓的不穩定,特別對磁浮類(lèi)的分子泵損傷較大。前級泵的效率差;我們知道腔體內的大部分氣體首先是通過(guò)前級泵抽出,真空達到一定程度分子泵才會(huì )啟動(dòng)。如果前級泵的效率差,分子泵就會(huì )比較吃力,啟動(dòng)速度慢,抽氣時(shí)間長(cháng),電流高,分子泵溫度升高等。
間隙一般為0.1~0.8毫米;不需要用油潤滑。轉子型線(xiàn)有圓弧線(xiàn)、漸開(kāi)線(xiàn)和擺線(xiàn)等。漸開(kāi)線(xiàn)轉子泵的容積利用率高,加工精度易于保證,故轉子型線(xiàn)多用漸開(kāi)線(xiàn)型。羅茨真空泵的轉速可高達3450~4100轉/分;抽氣速率為30~10000升/秒(1升=10-3米3);極限真空:?jiǎn)渭墳?.5×10-2帕,雙級為1×10-3帕。真空渦輪分子泵維修
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