廣州潽拓光電科技有限公司——varian分子泵維修要多少錢(qián)varian瓦里安真空泵維修
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氦質(zhì)譜檢漏儀分子泵故障及處理
1、儀器界面上TMP顯示“0”即分子泵沒(méi)有工作
有可能是前級壓力過(guò)高(該分子泵的啟動(dòng)壓力為200Pa)導致分子泵無(wú)法啟動(dòng)。檢查導致壓力過(guò)高的項目有：真空規管是否有問(wèn)題，分子泵出口是否打開(kāi)，機械泵油是否太臟或機械泵是否轉動(dòng)，系統是否有泄漏。也有可能是分子泵的葉片或轉子被損害，可自行用工具撥動(dòng)葉片，判斷其能否轉動(dòng)。
分子泵加速指示燈不亮
電路板上的保險絲燒斷，更換保險絲或檢查是否有短路現象。
分子泵故障燈亮
檢查電路板設置開(kāi)關(guān)是否處于R位置，此時(shí)應該在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止，如風(fēng)扇正常，則可能為氦質(zhì)譜檢漏儀分子泵電源故障。
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旋片泵主要由泵體、轉子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內偏心地安裝一個(gè)轉子，轉子外圓與泵腔內表面相切（二者有很小的間隙），轉子槽內裝有帶彈簧的二個(gè)旋片。旋轉時(shí)，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內壁保持接觸，轉子旋轉帶動(dòng)旋片沿泵腔內壁滑動(dòng)。進(jìn)口真空泵維修
電子束蒸發(fā)鍍膜需要高真空環(huán)境！
電子束蒸發(fā)法是在真空條件下利用電子束進(jìn)行直接加熱蒸發(fā)材料, 使蒸發(fā)材料氣化并向基板輸運, 在基底上凝結形成薄膜的方法. 常見(jiàn)于半導體科研工業(yè)領(lǐng)域. 利用加速后的電子能量打擊材料標靶, 使材料標靶蒸發(fā)升騰. *終沉積到目標上.進(jìn)口真空泵維修
在蒸發(fā)鍍膜設備中, 真空鍍膜室的本底真空度要求較高, 一般真空度越高, 腔室內雜質(zhì)氣體的量越少, 鍍膜材料在沉積到基片上的過(guò)程中, 與環(huán)境中的雜質(zhì)氣體碰撞變少, 粒子的能量大, 可以在基片上形成更致密均勻的膜, 由于分子泵的無(wú)油和高真空特性, 逐漸取代了有油的擴散泵成為*普遍的真空系統,進(jìn)口真空泵維修
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廣州潽拓光電科技有限公司——varian分子泵維修要多少錢(qián) 真空渦輪分子泵維修
當終止分子泵，請先得出關(guān)機命令(STOP)，待分子泵降速完畢，ROTATION顯示燈滅掉(液晶顯示器上顯示信息STOP，及轉速比顯示信息為0%)，確定分子泵早已徹*終止，才能夠斷電。如必須拆裝線(xiàn)纜，在如上述情況一切正常關(guān)機并關(guān)閉開(kāi)關(guān)電源后，才能夠拆下來(lái)線(xiàn)纜，分子泵在一切正常運行時(shí)肯定不可以拔下電纜線(xiàn)電源插頭。 真空渦輪分子泵維修
真空泵的工作原理是利用偏心轉子在泵腔內形成通過(guò)旋轉產(chǎn)生體積的交化而將體排出泵外，主要是在吸氣過(guò)程中，吸氣腔體積增大，真空度降低，將容器內氣體吸入泵腔，在排氣過(guò)程中體積變小，壓強增大， 終通過(guò)油封將吸入的氣體排出泵外。作用：真空泵的作用是產(chǎn)生負壓，從而增加制動(dòng)力。 真空渦輪分子泵維修
通常而言，處理真空泵廢氣有3種方法，第*種就是碳吸附法，由于其特殊的性質(zhì)，表面積大，吸附能力強，活性炭被廣泛應用于過(guò)濾場(chǎng)景，過(guò)濾水、氣味等，經(jīng)過(guò)長(cháng)時(shí)間的吸附后，吸附容積飽和，將停止吸附，失去過(guò)濾能力，因此用此方法需要頻繁更換。
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