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潽拓——安捷倫進(jìn)口分子泵，分子泵

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫進(jìn)口分子泵

改進(jìn)的轉子結構

TwisTorr 305 Q 系列分子泵擁有的轉子結構：比其他 305 分子泵增加了一級渦輪葉片，并采用了與其他 305 分子泵不同的 MacroTorr 牽引級。MacroTorr 牽引級是專(zhuān)為大氣載而設計的，它擁有更寬大的氣體通道，解決了其他牽引級結構在高負載長(cháng)期運行時(shí)發(fā)熱集中的問(wèn)題，可以承受持續的大氣體流量，并可將前級耐壓提高至 16 mbar。

廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫進(jìn)口分子泵

國外干泵市場(chǎng)的不斷增長(cháng)，其主要驅動(dòng)來(lái)自于半導體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本，半導體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿(mǎn)足不同應用領(lǐng)域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無(wú)油真空泵等。極限壓力從10Pa~10-2Pa，抽速從20m3/h~500m3/h。據統計，目前國產(chǎn)干泵的應用還不足1%，國內半導體工業(yè)用的干泵全部從國外進(jìn)口，其價(jià)格十分昂貴。所以，我國應大力研究開(kāi)發(fā)干泵，使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟增長(cháng)點(diǎn)。

　　干式真空泵主要應用于半導體、化工、電影、儀器、、食品等范圍廣泛的行業(yè)，市場(chǎng)上超過(guò)50%的產(chǎn)品是進(jìn)口品牌，尤其在半導體行業(yè)中，絕大多數的真空泵均為國外品牌，國產(chǎn)真空泵主要應用于化工等行業(yè)。

廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫進(jìn)口分子泵空擋滑行不可取

分子泵工作時(shí)轉速很高（數萬(wàn)轉/分鐘），加減速過(guò)程中，不可避免的要經(jīng)過(guò)某些危險的共振頻率，長(cháng)時(shí)間在這些共振頻率運轉，會(huì )增加軸承負荷、進(jìn)而增加分子泵故障的風(fēng)險。在真空下自然停泵（空擋滑行）時(shí)，由于真空下空氣阻力很小，分子泵轉子要經(jīng)過(guò)幾十分鐘甚至數小時(shí)的時(shí)間才能完全停止，其中在共振頻率運轉的時(shí)間也會(huì )比較長(cháng)。一般建議分子泵停機時(shí)，手動(dòng)或者通過(guò)充氣閥（Vent Valve），通過(guò)充氣口充入空氣/氮氣，增加轉子阻力使其快速停機；手動(dòng)充氣時(shí)，要注意控制充氣速度，使停機時(shí)間和分子泵啟動(dòng)時(shí)間相當（根據泵的大小不同而不同，一般為 3-10 分鐘）。

廣州潽拓光電科技有限公司——安捷倫進(jìn)口分子泵

渦輪泵以滿(mǎn)轉速持續運行。初始的磁場(chǎng)設置為 1mT ，泵在該磁場(chǎng)下運行 12 個(gè)小時(shí)以穩定轉子溫度；然后關(guān)閉磁場(chǎng)，再運行 12 個(gè)小時(shí)以使轉子降溫；然后再分別把磁場(chǎng)設置為 2mT，按照前面的步驟繼續進(jìn)行測試，直至磁場(chǎng)增加到 7mT 。修復應用中使用技術(shù)，MACHINA 可以協(xié)助 OPD 實(shí)驗室內部藝術(shù)品的修復，由于一些尺寸較大或者極其精致的作品可能無(wú)法移動(dòng)，它也可以被輕松移動(dòng)到現場(chǎng)或者其他的實(shí)驗室和博物館。