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AGILENT Turbo-V 1K-G分子泵維修,安捷倫Turbo-V 1K-G分子泵保養
特點(diǎn):
Turbo-V 1K-G 不僅是一臺泵。該裝置是專(zhuān)門(mén)為薄膜沉積設備精心設計的分子泵系統。其葉片級數和泵的整體結構均經(jīng)過(guò)優(yōu)化,可以在高流速的氣氛圍下和溫度極高的環(huán)境中工作。另外,可通過(guò)遠程機架控制器或泵機一體式控制器來(lái)驅動(dòng)泵。所有這些特點(diǎn)使安捷倫 Turbo-V 1K-G 成為了鍍膜工業(yè)的真空解決方案。
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任何真空泵都有不足之處,渦輪分子泵也不例外。那么渦輪分子泵它的缺點(diǎn):(1) 設備費用高;(2) 對顆粒物或沉積物敏感;(3) 噪音與振動(dòng);(4) 破碎問(wèn)題;(5) 暴露大氣易引起事故
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Osaka日本大阪真空曾經(jīng)制造出世界上**臺復合渦輪分子泵,也制造了當時(shí)世界上*大的渦輪分子泵。
分子泵軸承潤滑油的性能必須具備以下三個(gè)條件,才能滿(mǎn)足泵的工作要求:
a、高速下具備良好的潤滑性能;
b、飽和蒸氣壓低于前級泵工作液的飽和蒸氣壓;
c、粘度適當,使之兼有軸承冷卻液的作用。
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