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不同氣體對皮拉尼真空計的影響

不同氣體對皮拉尼真空計的影響因為熱量的傳遞不僅僅與壓強有相互關(guān)系，同時(shí)與氣體的摩爾量和分子結構有關(guān)系。不同的氣體會(huì )導致壓力測量時(shí)得出不同的結果。

在一般情況下，當現有的氣體的原子或者分子越大，熱傳導的能力或者效率越低。

 在壓力測量中，除少數直接測量外，絕大多數是間接測量。它首先在被測氣體中引起某些物理現象，然后在此過(guò)程中測量與壓力有關(guān)的物理量，然后嘗試確定壓力值。這是真空測量的特點(diǎn)，也會(huì )引起一些問(wèn)題。

皮拉尼真空計用范圍

化學(xué)工業(yè)

電子與微電子領(lǐng)域

氣相沉積

電子束焊接

真空冶金

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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壓電閥是利用壓電效應制成的一種真空氣體流量調節閥。壓電閥的部件是由壓電陶瓷制成的具有壓電特性的膜片。當在壓電陶瓷膜片上施加一控制電壓時(shí)，它將會(huì )產(chǎn)生正比于外加電壓值大小的變形。同時(shí)，帶動(dòng)密封墊移動(dòng)。于是壓電閥流導產(chǎn)生變化，從而改變氣體通過(guò)壓電閥的流量。英?？嫡婵沼嬀S修保養

當壓電陶瓷膜片上未施加控制電壓時(shí)，由于彈簧的機械力作用在壓電陶瓷膜片和密封墊上，使壓電閥氣路關(guān)閉。因而，可以通過(guò)改變施加在壓電陶瓷膜片上的控制電壓的大小，來(lái)改變壓電閥的流導，從而改變流過(guò)壓電閥的氣體流量。于是，可實(shí)現真空裝置的真空室中的真空度調節。英?？嫡婵沼嬀S修保養

電容薄膜真空計

屬彈性元件真空計，彈性薄膜將規管真空室分為兩個(gè)小室，即參考壓強室和測量室。測量低壓強 (P<100帕)時(shí)，參考室抽至高真空,其壓強近似為零。當測量室壓強不同時(shí)，薄膜變形的程度也不同。在測量室中有一固定電極，它與薄膜形成一個(gè)電容器。薄膜變形時(shí)電容值相應改變，通過(guò)電容電橋可測量電容的變化從而確定相應壓強值。為了防止薄膜發(fā)生蠕變，通常采用零位法測量，即在固定電極和薄膜之間加一直流電壓，利用靜電力補償薄膜受壓強差而產(chǎn)生的應力，使膜片保持零位。

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廣州潽拓光電科技有限公司——英?？嫡婵毡眯迯望u素檢漏儀維修

　冷陰極電離真空計與熱陰極電離真空計一樣，是利用低壓力下氣體分子的電離電流與壓力有關(guān)的特性，用放電電流做為真空度的測量，由電流表CB(做為真空度指示儀表，一般用量程為o～100μA)指示出來(lái)。所不同的在于電離源。鹵素檢漏儀維修

鹵素檢漏儀是因為化學(xué)元素周期表里面有鹵族元素周期系ⅦA族元素。包括氟（F）、氯（Cl）、*（Br）、碘（I）、砹（At），簡(jiǎn)稱(chēng)鹵素，通常所說(shuō)的氟利昂含氟，檢漏儀又對氟起反應，所以叫鹵素檢漏儀，精度*好應該到5×10-7~08Pa·m3/s吧。有手持式和臺式的。鹵素檢漏儀維修

氦質(zhì)譜檢漏儀是由離子源、分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計、還有分子泵等組成，氦氣分子小，還比較活躍，屬于惰性氣體，不腐蝕設備，檢漏*率高，氦氣質(zhì)譜檢漏儀反應靈敏，精度高，可檢測到5×10-12Pa·m3/s。一般為臺式。鹵素檢漏儀維修

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