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渦輪分子泵也是一種機械式真空泵，通過(guò)高速旋轉的多級渦輪轉子葉片和靜止葉片的組合進(jìn)行抽氣的，在分子流區域內對被抽氣體產(chǎn)生很高的壓縮比，從而獲得所需要的真空性能。渦輪分子泵極限真空比擴散泵高，可達10-8 pa。英?？嫡婵毡镁S修

正常工作時(shí)需要一定的前級真空度，其真空度高低視泵不同略有差異，一般在1-200pa之間，可采用機械泵作為前級泵，由于渦輪分子泵的轉速高，通常用中頻電機帶動(dòng)，中頻電源的頻率在300-400HZ之間。渦輪分子泵一般采用水冷方式。英?？嫡婵毡镁S修

半導體器件的生產(chǎn)制造工藝極其復雜，需要在高純度硅片上執行一系列精密的物理或者化學(xué)操作，例如摻入相應的其它元素、形成多種金屬薄膜和絕緣膜、進(jìn)行表面的刻蝕處理等。這些復雜的生產(chǎn)制造工藝都需要在分子泵維持的高真空環(huán)境下進(jìn)行，而且對真空系統和真空設備的潔凈度也有著(zhù)很高的要求。英?？嫡婵毡镁S修

廣州潽拓光電科技有限公司——英?？嫡婵毡镁S修有限公司 阿爾卡特真空泵維修

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氦質(zhì)譜檢漏儀是以氦氣作為示漏氣體，對真空設備及密封器件的微小漏隙進(jìn)行定位、定量和定性檢測的檢漏儀器。它具有性能穩定、靈敏度高、操作簡(jiǎn)便，檢測迅速等特點(diǎn)，是在真空檢漏技術(shù)中用得普遍的檢漏儀器。

為了正確使用氦氣檢漏設備，在充入檢漏氣體前有必要對抽空樣品進(jìn)行預抽空。如果在填充前沒(méi)有排空，試件中的空氣將被擠壓到幾何空間的末端，氦氣檢漏設備中的氣體不能進(jìn)入該部分，因此潛在的檢漏孔將僅釋放空氣，檢漏設備不能檢測到這些檢漏孔。

氦氣檢漏設備的泄漏孔通常很小或很窄。如果泄漏孔在檢漏氣體試驗前放在水箱中，這些泄漏孔或毛細管會(huì )被水堵塞或充滿(mǎn)，從而大大影響檢漏結果

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在工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)實(shí)驗中，往往希望真空裝置的真空室中的真空度能按真空工藝的要求，維持在某一給定值上。這種要求通?？梢酝ㄟ^(guò)手動(dòng)調節真空微調閥來(lái)完成，倘若希望自動(dòng)地完成壓力調節，就要借助于壓力控制儀來(lái)完成。英?？嫡婵沼嫳ｐB

如用一附加的熱偶測量熱絲的溫度，則這種規頭稱(chēng)為熱偶規；如利用熱絲本身的電阻值來(lái)反映溫度，則稱(chēng)電阻規或皮喇尼規。氣體熱傳導只在低壓強 (P<100帕)下隨壓強變化，而低至10-1帕時(shí)氣體熱傳導又不是主要的散熱方式，因此熱傳導真空計主要用于100～10-1帕范圍，采取特殊措施可擴大測量范圍。熱傳導真空計的指示不但和氣體種類(lèi)有關(guān)，而且易受熱絲表面污染、環(huán)境溫度等因素影響，故準確度不高，只作粗略的真空指示用。英?？嫡婵沼嫳ｐB

氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域不可或缺的技術(shù)，利用該技術(shù)檢漏*率高，操作方便，儀器反應靈敏，精度高，不易受其他氣體干擾，上述方法在檢漏技術(shù)領(lǐng)域中經(jīng)常使用，包括從小泄漏檢測到大泄漏檢測，從確定泄漏檢測到確定泄漏率泄漏檢測，更quan面地列出各種泄漏檢測方法，相信在工程實(shí)際應用中具有良好的參考價(jià)值。

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