廣州潽拓光電科技有限公司——愛(ài)德華渦輪泵
Edwards真空泵是上銷(xiāo)售好的真空泵之一, 用于半導體、平板顯示器、LED和太陽(yáng)能電池制造, 及工業(yè)、制藥、化工、加工、玻璃鍍膜、食品包裝等行業(yè)。
Edwards STP 磁懸浮渦輪分子泵系列因其質(zhì)量和可靠性在市場(chǎng)上享有很高的聲譽(yù),并且是許多具有挑戰性的半導體應用的優(yōu)選分子泵。對于實(shí)驗室應用,STP 磁懸浮渦輪分子泵極為可靠,并且超長(cháng)時(shí)間運行而無(wú)需維護。
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STPA2203C Edwards磁懸浮渦輪分子泵是為半導體應用而設計的渦輪分子泵STPA2203C Edwards磁懸浮渦輪分子泵它使用的轉子,可實(shí)現的性能,大的制程靈活性。全新的半機架控制器能夠節省更多空間,且采用直流驅動(dòng),無(wú)需電池即可運行。STPA2203C 已經(jīng)由半導體和磁介質(zhì)行業(yè)的大型刻蝕、離子注入和沉積設備制造商投入使用,并得到了。
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Edwards STPA1603C英國愛(ài)德華磁懸浮分子泵維修
小巧而強大的Edwards STPA1603C渦輪分子泵采用Edwards先進(jìn)的轉子技術(shù)進(jìn)行設計。它提供極高的吞吐量、*高的可靠性和yi流的性能,滿(mǎn)足zui新一代半導體制程的需要。其半機架的控制器和緊湊型設計可節省可觀(guān)的空間,而其先進(jìn)的沉積減少系統提高了可靠性和性能。STPA1603C已經(jīng)在zui新的200mm刻蝕工具上得到了證明,也能夠滿(mǎn)足新一代300mm氧化物腐蝕制程的需要。
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