廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特進(jìn)口分子泵 真空泵維修維護
旋片泵的旋片把轉子、泵腔和兩個(gè)端蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三部分,當轉子按箭頭方向旋轉時(shí),與吸氣口相通的空間A的容積是逐漸增大的,正處于吸氣過(guò)程。而與排氣口相通的空間C的容積是逐漸縮小的,正處于排氣過(guò)程。居中的空間B的容積也是逐漸減小的,正處于壓縮過(guò)程。由于空間A的容積是逐漸增大(即膨脹),氣體壓強降低,泵的入口處外部氣體壓強大于空間A內的壓強,因此將氣體吸入。
當空間A與吸氣口隔絕時(shí),即轉至空間B的位置,氣體開(kāi)始被壓縮,容積逐漸縮小,*后與排氣口相通。當被壓縮氣體超過(guò)排氣壓強時(shí),排氣閥被壓縮氣體推開(kāi),氣體穿過(guò)油箱內的油層排至大氣中。由泵的連續運轉,達到連續抽氣的目的。如果排出的氣體通過(guò)氣道而轉入另一級(低真空級),由低真空級抽走,再經(jīng)低真空級壓縮后排至大氣中,即組成了雙級泵。這時(shí)總的壓縮比由兩級來(lái)負擔,因而提高了極限真空度。真空泵維修維護
真空機組工作原理:
真空機組是以泵為主泵,以旋片泵為前級泵串聯(lián)而成的。旋片真空機組選用的旋片泵作為前級泵,因此它克服了旋片泵使用時(shí)在一定壓力下抽氣速率低的缺點(diǎn),而且同時(shí)保留了羅茨泵能迅速工作,有比較大抽氣速率等優(yōu)點(diǎn)。真空泵維修維護
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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特進(jìn)口分子泵 分子泵養護
半導體器件的生產(chǎn)制造工藝極其復雜,需要在高純度硅片上執行一系列精密的物理或者化學(xué)操作,例如摻入相應的其它元素、形成多種金屬薄膜和絕緣膜、進(jìn)行表面的刻蝕處理等。這些復雜的生產(chǎn)制造工藝都需要在分子泵維持的高真空環(huán)境下進(jìn)行,而且對真空系統和真空設備的潔凈度也有著(zhù)很高的要求。分子泵養護
羅茨真空泵在石油、化工、塑料、nong藥、汽輪機轉子動(dòng)平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長(cháng)期運行的考驗,所以應該在國內大力推廣和應用。同時(shí)也廣泛用于石油、化工、冶金、紡織等工業(yè)。真空泵配件作為真空泵消*器,用于真空泵的噪聲治理。分子泵養護
轉子的內部冷卻:為了使羅茨真空泵在更高壓差下工作,可采取更有效的冷卻方法,即將轉子用循環(huán)油冷卻,在泵軸兩端分別有油孔、油徑軸頭打入,經(jīng)轉子內壁再從另一端排出。冷卻油除冷卻轉子外,還潤滑齒輪和軸承。這種冷卻效果較好,泵在運轉時(shí)轉子溫度低于外殼溫度,大泵常采用這種方式。 分子泵維修,例如在80Torr壓差下工作時(shí),羅茨真空泵轉子溫度較外殼低78度,同時(shí)還發(fā)現泵負荷越重時(shí),則間隙越大,這是因為轉子用油冷卻,溫度比殼體低,負荷越大,殼體膨脹越厲害,軸間距加大,所以間隙會(huì )增大。
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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特進(jìn)口分子泵 進(jìn)口泵維修
真空泵是執行器的主要類(lèi)型,采用壓縮空氣為動(dòng)力源,對于各種腐蝕性液體,帶顆粒的液體,高粘度、易揮發(fā)、易*、劇*的液體,均能予以抽光吸盡。通過(guò)接受調制單元輸出的控制信號,借助動(dòng)力操作去改變流體流量。
真空泵是一種用于抽取低壓或高真空中氣體的機械設備,是廣泛應用于工業(yè)、nong業(yè)、yi療、環(huán)保和科研等領(lǐng)域的重要設備。隨著(zhù)各種工業(yè)企業(yè)對真空技術(shù)的日益依賴(lài)和追求,真空泵市場(chǎng)的需求量也在不斷擴大。 進(jìn)口泵維修
真空泵的整個(gè)工作過(guò)程是指一個(gè)吸入和排出過(guò)程。在動(dòng)力驅動(dòng)下經(jīng)傳動(dòng)機構推動(dòng)活塞往復運動(dòng),經(jīng)液壓油推動(dòng)膜片來(lái)回鼓動(dòng)作功。當活塞向后移動(dòng)時(shí),膜片逐漸凹進(jìn),泵腔內體積逐漸增大,壓力逐漸降低,低于入口管壓力時(shí)入口閥打開(kāi),介質(zhì)流入泵腔,活塞達到內止點(diǎn)時(shí),介質(zhì)充滿(mǎn)泵腔,入口閥關(guān)閉。吸入過(guò)程完成,開(kāi)始壓出過(guò)程。進(jìn)口泵維修
極限相對壓強 相對壓強即所測內部壓強比大氣壓低多少壓強。表示出系統壓強實(shí)際數值低于大氣壓強的數值。由于容器內部空氣被抽,因此內部的壓強始終低于容器外部壓強。所以當用相對壓強表示的時(shí)候,數值前面必須帶負號,表示容器內部壓強比外部壓強低。進(jìn)口泵維修
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