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廣州潽拓光電科技有限公司

黃埔區阿爾卡特渦輪分子真空泵-廣東潽拓光電

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  • 主營(yíng)產(chǎn)品:分子泵控制器,真空分子泵,AE電源,真空油泵,真空系統
  • 公司地址:廣州市番禺區化龍鎮潭山環(huán)村公路1-1號
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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子真空泵 阿爾卡特渦輪分子泵維修

噴射泵由工作噴嘴和擴壓器及混合室相連而組成。工作噴嘴和擴壓器這兩個(gè)部件組成了一條斷面變化的特殊氣流管道。工作蒸氣在高壓下以很高的速度從噴嘴噴出,在噴射過(guò)程中,氣流通過(guò)噴嘴可將靜壓能轉變?yōu)閯?dòng)能。工作蒸汽壓強和泵的出口壓強之間的壓力差,使工作蒸汽在管道中流動(dòng)。阿爾卡特渦輪分子泵維修


渦輪分子系內的軸承,是安放在采的低真空部位的,并有密封圈擋住,不至使軸承中的潤滑油或脂的蒸氣直接進(jìn)人泵的進(jìn)氣口部分。在泵工作時(shí),由于對油蒸氣有極高的壓縮比,油蒸氣是很難進(jìn)入高真空區的。但一旦泵停止運轉后,若泵內仍保持真空的話(huà),則這些油燕氣就容易擴散進(jìn)入高真空區,油蒸氣便沾污了泵的高真空葉輪。阿爾卡特渦輪分子泵維修



為此,在停泵后,必須立即對泵灌以干燥的空氣或氮氣,限止油蒸氣的擴散,渦輪分子泵內各葉輪之間、動(dòng)輪與泵壁之間的空都只在 1mm 左右,因此工作時(shí)應嚴格防止異物進(jìn)入泵內。一般允許的雜散磁場(chǎng)約為 0.004~0.011T。阿爾卡特渦輪分子泵維修

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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子真空泵 進(jìn)口泵維修

在低溫下,軸承潤滑劑具有很高的粘度(低潤滑作用),可能導致軸承潤滑不良和分子泵啟動(dòng)電流過(guò)大。即使泵看起來(lái)啟動(dòng)正常,也可能會(huì )對軸承造成一定的損傷,長(cháng)期來(lái)看,這將影響泵的可靠性。安捷倫分子泵允許的正常工作溫度范圍是 5-35 攝氏度,在環(huán)境溫度低于 5 攝氏度時(shí),需要采取一定的加溫措施。



避免真空泵溫度過(guò)高:較為非常容易了解這一點(diǎn),半導體材料在真空泵的運用中,有害物質(zhì)比較多,而不論是干試真空泵還是骨架密封機械泵,泵腔內溫度過(guò)高,高溫下物品及有害氣體便會(huì )非常容易產(chǎn)生風(fēng)險。 進(jìn)口泵維修

應小心防止固體物質(zhì)(金屬碎片、玻璃碎片等)。)不會(huì )掉入真空泵并擦傷真空泵的運動(dòng)部件。當真空泵長(cháng)時(shí)間停機時(shí),應將其存放在干燥清潔的環(huán)境中,并堵住吸入口和排出口,以防灰塵落入。



真空泵選型前,先來(lái)弄清楚幾個(gè)基礎概念: 真空 現實(shí)中是不存在真正的真空的,通常我們把容器內氣壓低于正常大氣壓(101325 Pa)的狀態(tài)都稱(chēng)之為真空狀態(tài)。進(jìn)口泵維修

容積式真空泵

容積式真空泵適用于低真空的泵速較慢的場(chǎng)合,主要用來(lái)創(chuàng )建中等至低真空環(huán)境。容積式真空泵使用氣體壓縮作為原理,通過(guò)泵出氣體并將其壓縮進(jìn)入泵房,從而實(shí)現真空抽取。

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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子真空泵 真空泵維修價(jià)格

分子泵渦輪分子泵主要分為立式和臥式兩種。復合分子泵它是由渦輪式和牽引式兩種分子泵串聯(lián)組合起來(lái)的一種復合型的分子真空泵。臥式渦輪分子泵,這種結構的分子泵是雙軸流的,吸氣口在兩組抽氣單元的中央,氣體吸入后,分別被左右兩側的葉列組合抽走。立式渦輪分子泵,泵由泵殼、渦輪葉列組件和電動(dòng)機等組成?,F代渦輪分子泵轉子和定子之間的間隙較大,通常在lmm左右,因此泵工作時(shí)很安全。真空泵維修價(jià)格



薄膜沉積指在晶圓表面生成多種薄膜,這些薄膜可以是絕緣體、半導體或導體。它們由不同的材料組成,是使用多種工藝生長(cháng)或沉積的。通用的沉積技術(shù)有化學(xué)氣相淀積(CVD)、蒸發(fā)和濺射PVD。一般來(lái)說(shuō),其中還要夾雜低溫(≤500℃)退火工藝等熱處理工藝,用以增進(jìn)金屬層和半導體之間的低電阻接觸、消除內應力等。設備運行過(guò)程中需要高潔凈的真空環(huán)境,一般采用以磁懸浮分子泵為主的無(wú)油真空系統。真空泵維修價(jià)格



IC制造行業(yè)屬于典型的技術(shù)密集型行業(yè),產(chǎn)品技術(shù)含量非常高,同時(shí)對配套產(chǎn)業(yè)要求較高,其中就包括真空設備配套產(chǎn)業(yè)。真空設備(真空閥、真空泵、真空腔體及管道等)是半導體各工藝制程環(huán)節必備的通用設備,廣泛應用于芯片生產(chǎn)制造過(guò)程。真空泵維修價(jià)格

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