廣州潽拓光電科技有限公司——Agilent真空泵
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安捷倫渦旋式干泵采用兩個(gè)渦旋盤(pán)復合成的機械結構,由一個(gè)渦旋嵌入另一個(gè)渦旋并轉動(dòng)來(lái)捕集氣體。進(jìn)入渦旋槽內的氣體被移動(dòng)壓縮到渦旋的中信并被排出。
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瓦里安Turbo-V801分子泵維修Varian 復合渦輪泵保養,Varian Turbo-V801瓦里安渦輪分子泵進(jìn)氣法蘭口ISO160-F,出氣法蘭口KF25,分別抽速可達到680 L/s ,轉速為38000rpm,對應的控制器為:Varian Turbo-V801,
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該泵為無(wú)油、無(wú)污染型,并且具有非常低的故障率,可以在任何位置工作而不對材料施加應力。典型的 MTTF 超過(guò) 250000 小時(shí)。
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軸承潤滑方式有油脂潤滑、油繩潤滑和離心供油潤滑等方式。分子泵軸承潤滑油的性能必須具備以下三個(gè)條件,才能滿(mǎn)足泵的工作要求:
a、高速下具備良好的潤滑性能;
b、飽和蒸氣壓低于前級泵工作液的飽和蒸氣壓;
c、粘度適當,使之兼有軸承冷卻液的作用。