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廣州潽拓光電科技有限公司——varian真空機組維修

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多級羅茨真空泵是干式羅茨真空泵中的一種，在美日等國家較多的應用與半導體及化工行業(yè)。它的“多級”是相對于傳統的一個(gè)轉子的“單級”羅茨真空泵而言，形式上多個(gè)轉子串聯(lián)，中間由中間壁隔離形成多個(gè)相對獨立的泵腔，各級泵腔通過(guò)各級的進(jìn)氣口與排氣口相連形成氣流通道。各級轉子的直徑和形狀是相同的，但是寬度有可能相同也可能不同。不同的話(huà)高壓側方會(huì )變窄。真空機組維修

是真空機組的抽氣能力不夠還是漏率高；或者兩者兼而有之，需要耐心觀(guān)察和記錄，從中找出故障原因，比如，抽空時(shí)間相同，而真空度偏低，這時(shí)候，關(guān)閉高壓閥，如真空計指針很快下降，多數情況是真空室漏了，應先查出漏點(diǎn)。如真空計指針下降很慢，多數情況是真空機組抽氣能力不夠，這時(shí)可將重點(diǎn)放到查找真空泵及閥門(mén)的問(wèn)題上，看是哪里出現了泄漏，或是擴散泵油被污染了，氧化了等；或是前級管路密封不好，泵油不足；或是泵有油乳化，軸封漏油，閥片損壞等故障。真空機組維修

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軸承

主軸軸承對泵的使用壽命至關(guān)重要。逐漸磨損可能使軸的位置發(fā)生輕微的變化，直到螺釘或轉子之間，或葉輪和泵殼之間發(fā)生摩擦。這將導致光斑發(fā)熱，可以通過(guò)觸摸檢測到。軸承突然失效通常更為嚴重。由于葉輪軸組件不再有支撐和正確的位置，在軸承失效后，很可能立即發(fā)生對殼體和齒輪的廣泛的一般損壞。磨損的跡象是過(guò)度或異常的噪音，過(guò)熱的軸承，或過(guò)熱的套管由旋轉葉輪與套管內部接觸引起的摩擦。瓦里安分子泵電源維修

二、更換油和密封件

分子泵的油和密封件也是保養的重要部分。油的質(zhì)量和密封件的狀態(tài)會(huì )直接影響分子泵的性能和壽命。因此，定期更換油和密封件是非常必要的。瓦里安分子泵電源維修

更換油時(shí)，需要先將泵內的油排出，然后用清潔劑和軟布擦拭泵內壁和葉輪。然后再加入新的油，確保油面高度正常。更換密封件時(shí)，需要先將泵內的油排出，然后拆下密封件，清洗并更換新的密封件。注意更換密封件時(shí)，需要按照廠(chǎng)家的要求進(jìn)行操作，以免影響泵的性能和壽命。瓦里安分子泵電源維修

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1、 分子泵的安裝方式：

a、 避免分子泵與所連接設備直接產(chǎn)生應力；

b、 分子泵的可維護性和方便保養；真空泵維修服務(wù)公司

c、 分子泵的排氣口要朝下，防止冷凝物堵塞；

d、 分子泵的排氣口不要正對前級泵的進(jìn)氣口；

e、 分子泵和前級泵之間根據工藝氣體而安裝合適的過(guò)濾器；

f、 在前級旋片泵的出口安裝冷凝回油裝置；真空泵維修服務(wù)公司

g、 分子泵運行時(shí)，一定要開(kāi)啟分子泵的冷卻水，分子泵停止時(shí)關(guān)閉

電機、真空泵運異常。電機超負荷運轉、真空泵在運轉中異常雜音、噪聲、轉動(dòng)困難或發(fā)生“卡死”現象。

　　1.真空泵溫太高，可參照1款(1)項處理。

　　2.彈簧變形或斷裂，使旋片受力不均勻而發(fā)出沖擊聲。解決方案：更換彈簧。

　　3.裝配不當，造成單面磨損。解決方案：重新裝配。

　　4.過(guò)濾網(wǎng)損壞，金屬屑、玻璃屑等落入真空泵內，使運轉發(fā)生障礙。解決方案：拆真空泵檢查、清除碎屑，修復或更換磨損部件，并裝好過(guò)濾網(wǎng)。

　　5. 真空泵腔內污染嚴重，導致零件銹蝕。解決方案：拆真空泵請洗，去除銹斑，并換油。

真空泵由于某種原因引起電動(dòng)機超負荷運轉，甚至轉不動(dòng)，真空泵維修服務(wù)公司，通常習慣上把這種現象就叫“卡死”真空泵發(fā)生卡死的原因是:彈簧損壞，使旋片受力不勻;裝配不當，使某局部受力;真空泵維修服務(wù)公司，由于進(jìn)氣口的濾網(wǎng)丟失或損壞，使外部臟物，金屬屑、玻璃屑等落入泵腔內。此外，泵轉子、旋片端面與端蓋間的間隙過(guò)小，摩擦發(fā)熱使旋片伸長(cháng)或過(guò)熱過(guò)緊的摩擦加之旋片硬度過(guò)大，與毛刺互相碾括，使端面產(chǎn)生深劃痕，后燒結卡死。真空泵維修服務(wù)公司

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