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廣州潽拓光電科技有限公司

潽拓光電-varian分子泵維保費用

廣州潽拓光電科技有限公司

  • 主營(yíng)產(chǎn)品:分子泵控制器,真空分子泵,AE電源,真空油泵,真空系統
  • 公司地址:廣州市番禺區化龍鎮潭山環(huán)村公路1-1號
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廣州潽拓光電科技有限公司——varian分子泵真空機組維修


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多級羅茨真空泵是干式羅茨真空泵中的一種,在美日等國家較多的應用與半導體及化工行業(yè)。它的“多級”是相對于傳統的一個(gè)轉子的“單級”羅茨真空泵而言,形式上多個(gè)轉子串聯(lián),中間由中間壁隔離形成多個(gè)相對獨立的泵腔,各級泵腔通過(guò)各級的進(jìn)氣口與排氣口相連形成氣流通道。各級轉子的直徑和形狀是相同的,但是寬度有可能相同也可能不同。不同的話(huà)高壓側方會(huì )變窄。真空機組維修


是真空機組的抽氣能力不夠還是漏率高;或者兩者兼而有之,需要耐心觀(guān)察和記錄,從中找出故障原因,比如,抽空時(shí)間相同,而真空度偏低,這時(shí)候,關(guān)閉高壓閥,如真空計指針很快下降,多數情況是真空室漏了,應先查出漏點(diǎn)。如真空計指針下降很慢,多數情況是真空機組抽氣能力不夠,這時(shí)可將重點(diǎn)放到查找真空泵及閥門(mén)的問(wèn)題上,看是哪里出現了泄漏,或是擴散泵油被污染了,氧化了等;或是前級管路密封不好,泵油不足;或是泵有油乳化,軸封漏油,閥片損壞等故障。真空機組維修

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廣州潽拓光電科技有限公司——varian分子泵varian TV 902分子泵維修

真空泵維修,問(wèn)題2、抽不到真空泵的極限真空度:首先檢查真空系統的氣密性,看是否有輕微漏氣。其次應打開(kāi)氣鎮,讓泵運行30分鐘左右,來(lái)抽干非泵油污染引起的可壓縮蒸汽,排除可壓縮蒸汽對極限真空度的影響。varian TV 902分子泵維修



在排除以上兩個(gè)因素后,其他原因主要有:泵油污染,需要換油;泵內油過(guò)濾器堵塞,引起壓縮注油系統油路不暢,供油不足,導致泵體密封不嚴,這時(shí)需要清洗內部油過(guò)濾器;配油器閥門(mén)變形、磨損或損壞也可導致供油不足,這時(shí)應檢查更換配油器閥門(mén);varian TV 902分子泵維修



因此旋片泵機組廣泛地用于在真空冶煉、電力電容器、變壓器真空熱處理、真空鍍膜設備的預抽、電真空半導體等行業(yè)中抽除密閉容器中含氧不高的、無(wú)爆*性的、對金屬無(wú)腐蝕性的、與泵油不會(huì )起化學(xué)反應的也不會(huì )含有顆粒塵埃的氣體。

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廣州潽拓光電科技有限公司——varian分子泵進(jìn)口真空泵維修

真空泵是一種旋轉式變容,真空泵須有前級泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內有較大的抽速,對被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。進(jìn)口真空泵維修,歡迎廣大業(yè)界人士來(lái)電來(lái)函,我們將竭誠為您提供免費的技術(shù)指導與全套滿(mǎn)意的維修服務(wù)支持。



進(jìn)口真空泵維修的方法如下:

  1、操作員需要了解設備、泵和各種部件的外觀(guān)。

  2、如果打開(kāi)電源后出現異常情況,請立即清潔或關(guān)閉電源以查找原因。

  3、冷卻液壓力應在0.1至0.2Mpa之間,水溫應為≤45℃.

  4、在啟動(dòng)每臺爐之前,請檢查維護氣缸的氣缸容量,并更換氣缸以避免填充。

  5、始終檢查每個(gè)部件的回流量,并確保在操作過(guò)程中每個(gè)部件都有足夠的冷卻液。




間隙一般為0.1~0.8毫米;不需要用油潤滑。轉子型線(xiàn)有圓弧線(xiàn)、漸開(kāi)線(xiàn)和擺線(xiàn)等。漸開(kāi)線(xiàn)轉子泵的容積利用率高,加工精度易于保證,故轉子型線(xiàn)多用漸開(kāi)線(xiàn)型。羅茨真空泵的轉速可高達3450~4100轉/分;抽氣速率為30~10000升/秒(1升=10-3米3);極限真空:?jiǎn)渭墳?.5×10-2帕,雙級為1×10-3帕。進(jìn)口真空泵維修

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