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    萊寶Leybold turbovac MAG W 3200渦輪分子泵


     TURBOVAC MAG W 3200 C/CT常用于半導體工業(yè)使用的渦輪分子泵。在半導體工業(yè)，渦輪分子泵用于以下應用場(chǎng)合：- 蝕刻；- 濺射；- 離子注入；- CVD；- 光刻。這些應用中，經(jīng)常需要抽除腐蝕性氣體。需要使用配有吹掃氣體設備的磁懸浮分子泵，以免軸承損壞。尤其對于金屬蝕刻，渦輪分子泵的泵內可能發(fā)生沉積現象， 選用帶溫度控制的擴展附件在MAG 1500 C、MAG 2000 C、MAG2800和MAG 3200可以防止這種情況。與機械軸承渦輪分子泵相比，磁懸浮泵的優(yōu)勢在于氣體流量較大時(shí)可以防止軸承過(guò)熱，能夠有效地防止腐蝕性介質(zhì)對磁懸浮軸承的損壞。

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萊寶真空生產(chǎn)的渦輪分子泵能夠獲得潔凈的高真空和超高真空，具有操作簡(jiǎn)單，可靠性高等特點(diǎn)。

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