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pfeiffer分子泵-潽拓光電

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潽拓——{精}pfeiffer分子泵PFEIFFER TMH071P分子泵維修

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渦輪分子泵工作原理

包括轉子和定子葉片排列的泵送作用是基于將脈沖從快速旋轉的葉片傳輸給被泵送的氣體分子。與葉片碰撞的分子被吸附在葉片上，然后在一段時(shí)間后再次離開(kāi)葉片。在該過(guò)程中，葉片速度被加到熱分子速度上。為確保由葉片傳輸的速度成分不因與其他分子碰撞而損失，分子流必須在泵中占主導地位，即：平均自由程必須大于葉片間距。

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