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廣州潽拓——專(zhuān)業(yè)維修PFEIFFER DUO 3

雙級旋片泵 DUO 2.5/DUO 3 工作原理

旋片式真空泵是油密封的旋轉式排量泵。泵系統包括一個(gè)殼 體 (1)、一個(gè)偏心地

安裝的轉子 (2)、在離心力和彈力作用下 徑向移動(dòng)的葉片 (3) 以及入口和出口

(4)。入口閥（如配置）被設計為真空安全閥，該閥在操作過(guò)程中始終處于打開(kāi)狀 態(tài)。

工作室 (5) 位于殼體內，并受到定子、轉子和葉片的限 制。偏心安裝的轉子和葉

片將工作室分為具有可變容積的兩 個(gè)獨立艙。當轉子轉動(dòng)時(shí)，氣體流入擴大的吸入

室直至其被 第二個(gè)葉片封住。封閉氣體然后進(jìn)行壓縮，直到出口閥沖破 大氣壓力

而開(kāi)啟。出口閥是油封的。當閥打開(kāi)時(shí)，少量的油進(jìn)入吸入室，不僅能夠對其進(jìn)行

潤 滑，而且能夠將葉片與殼體（定子）密封開(kāi)來(lái)。

旋片式真空泵的工作原理

在氣鎮操作的情況下，一個(gè)孔向外側打開(kāi)，讓氣體流入前側 的密封吸入室。因此，

在壓縮抽吸階段，在相對低的壓縮下 達到打開(kāi)出口閥所需的壓力。這使得蒸汽開(kāi)始

冷凝前排出置 換的氣體/蒸汽混合物。在操作過(guò)程使用氣鎮達到的終壓力 高于無(wú)

氣鎮操作所達到的壓力。

工作液、油

泵油，也稱(chēng)為工作液，在旋片式真空泵中泵油有多個(gè)任務(wù)要 執行。它潤滑所有移動(dòng)

部件，填充出口閥下的固定空間以及 縮小入口和出口之間的間隙。它壓縮葉片和工

作室之間的間 隙，此外還通過(guò)熱傳遞確保溫度平衡。

多級泵

旋片式真空泵是內置的單級和兩極版。二極泵比單級泵實(shí)現 相對更低的極限壓力。

此外，氣鎮對極限壓力的影響較低， 因為氣鎮僅允許在高壓力級使用。

真空安全閥

根據所涉及的泵類(lèi)型，旋片式真空泵可能配備真空安全閥。 真空安全閥在有意或意

外停頓的情況下將泵與真空室隔離， 并使用置換氣體對泵系統進(jìn)行排氣，防止油液

上升到真空室 中。在開(kāi)啟泵后，一旦泵中的壓力已達到真空室中的近似壓 力，它

稍作延遲就打開(kāi)。

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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2.研究設施（核粒子物理學(xué)、核聚變研究、激光應用等）

3.分析儀器（質(zhì)譜分析法、顯微鏡等）

4.半導體行業(yè)（電子組件、集成電路、反射、濾光鏡鍍膜等）

5.真空鍍膜技術(shù)（表面保護、裝飾土層、顯示技術(shù)、屏幕等）