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廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel分子泵 維修進(jìn)口真空泵

當停泵后，碳氧化合物返流很快通過(guò)泵進(jìn)入直空室內，如果系統仍保持在直空狀態(tài)下，碳氣化合物將會(huì )粘在清潔的葉片和直空室的表面上，在隨后再運轉該系統時(shí)，將極難抽除粘著(zhù)的碳氧化合物，另一方面，在渦輪分子泵停止運轉時(shí)，如果給泵充入干燥氙氣或干燥空氣，剛該干燥氣體將給暴露的表面提供一層氣體保護層，而且在系統充氣后，返流的碳氧化合物由于與充入的氣體混合起來(lái)，從而它的粘著(zhù)能力很弱，在混合氣體中碳氧化合物所占比例*小，在下一次抽空時(shí)也很快就能被抽走。

一般導致真空泵無(wú)法正常啟動(dòng)的原因

1、驅動(dòng)電機電壓不正確或過(guò)載。維修進(jìn)口真空泵

解決辦法：提供電機正確的電壓。

2、電機啟動(dòng)器過(guò)載保護太小或設定值太低。

解決辦法：將電機啟動(dòng)器過(guò)載保護的設定數據與電機銘牌的數據相對照，必要時(shí)，請校正。如果環(huán)境溫度較高：可將設定值根據正常電機電流提高5%。

3、保險絲熔斷。

解決辦法：檢查保險絲。維修進(jìn)口真空泵

在何處充氣

在渦輪分子泵的前級側充氣，能強制使碳氧化合物立刻通過(guò)渦輪分子泵流入真空室。另一方面，若在渦輪分子泵吸入側充氣，能達到以清潔氣體蕩蓋表面的目的。并使氣流流向渦輪分子泵(自上而下)，能暫時(shí)阻止、延遲碳氫化合物的返流，也有些渦輪分子泵在壓縮級之間進(jìn)行中間充氣，它和在吸入側充氣控制碳氣化合物返流幾乎同樣有效。在超高真空系統中，在壓縮級充氣尤其*越。因為中間充氣不需要價(jià)格昂貴的金屬密封的可烘烤的充氣閥。維修進(jìn)口真空泵

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel分子泵 阿爾卡特真空泵維護

羅茨泵和油增壓泵都可以作為中真空泵，分子增壓泵有極高的壓縮比，這除了使它能獲得清潔真空外還具有優(yōu)異的高真空性能，同時(shí)在中真空范圍也有超*的抽氣能力。這就使分子增壓泵成為目前唯yi兼有中高真空性能的真空泵，所以只需要與低真空泵配合便能組成性能堪比三級機組的高真空機組。阿爾卡特真空泵維護

分子增壓泵可以在100-50Pa工作，前級泵從大氣到這一壓力，基本遵從每經(jīng)過(guò)時(shí)間壓力降低一個(gè)數量級的規律，因此機組可以具有很高的抽氣效率。簡(jiǎn)化高真空機組，取消羅茨泵是分子增壓泵的又一個(gè)優(yōu)勢。阿爾卡特真空泵維護

對于較大型的高真空應用設備，也可適當加強前級泵的預抽能力，進(jìn)一步縮短抽氣時(shí)間，由于預抽時(shí)間與整個(gè)排氣過(guò)程相比很短，所以前級泵的使用時(shí)間也很短，因此可以兼作多套設備的預抽作用，而這往往是非?，F實(shí)的。這就使規?；瘧玫恼婵諜C組得到大大的簡(jiǎn)化。阿爾卡特真空泵維護

廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel分子泵 阿爾卡特真空泵維護

廣州潽拓光電科技有限公司——Alcatel分子泵  磁懸浮渦輪分子泵維修

含加熱模塊的磁懸浮分子泵主要用于半導體制造設備，在集成電路刻蝕等工藝過(guò)程中，部分工藝氣體容易冷卻凝結，附著(zhù)在分子泵轉子及內壁，造成分子泵轉子不平衡量增大或抽氣通道阻塞，影響分子泵的穩定運行。加上加熱模塊可以適當提高泵體溫度，降低工藝氣體凝結，提高分子泵穩定性及壽命。   磁懸浮渦輪分子泵維修

我們所稱(chēng)呼的“質(zhì)譜儀單元”是氦氣檢漏儀的核xin部分。氣體從檢漏 儀的入口被導入質(zhì)譜儀單元。在這里用高能量的電子束對帶電的氣 體粒子進(jìn)行撞擊 電子束利用金屬絲在高溫下產(chǎn) 生。如果中性氣體粒子層的電子被撞擊，它會(huì )從電子層脫出。結 果，帶正電的氣體粒子—離子—留了下來(lái)。大部分導入的氣體粒子被電子之間的碰撞電離。 磁懸浮渦輪分子泵維修

分子泵的工作區間是有限制的，*大啟動(dòng)壓強也要在100pa，直接大氣啟動(dòng)只會(huì )長(cháng)期處于過(guò)載狀態(tài)運行，并無(wú)抽氣效果。 磁懸浮渦輪分子泵維修

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