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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子真空泵 分子泵養護

半導體器件的生產(chǎn)制造工藝極其復雜，需要在高純度硅片上執行一系列精密的物理或者化學(xué)操作，例如摻入相應的其它元素、形成多種金屬薄膜和絕緣膜、進(jìn)行表面的刻蝕處理等。這些復雜的生產(chǎn)制造工藝都需要在分子泵維持的高真空環(huán)境下進(jìn)行，而且對真空系統和真空設備的潔凈度也有著(zhù)很高的要求。分子泵養護 

羅茨真空泵在石油、化工、塑料、nong藥、汽輪機轉子動(dòng)平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長(cháng)期運行的考驗，所以應該在國內大力推廣和應用。同時(shí)也廣泛用于石油、化工、冶金、紡織等工業(yè)。真空泵配件作為真空泵消*器，用于真空泵的噪聲治理。分子泵養護

轉子的內部冷卻:為了使羅茨真空泵在更高壓差下工作，可采取更有效的冷卻方法，即將轉子用循環(huán)油冷卻，在泵軸兩端分別有油孔、油徑軸頭打入，經(jīng)轉子內壁再從另一端排出。冷卻油除冷卻轉子外，還潤滑齒輪和軸承。這種冷卻效果較好，泵在運轉時(shí)轉子溫度低于外殼溫度，大泵常采用這種方式。 分子泵維修，例如在80Torr壓差下工作時(shí)，羅茨真空泵轉子溫度較外殼低78度，同時(shí)還發(fā)現泵負荷越重時(shí)，則間隙越大，這是因為轉子用油冷卻，溫度比殼體低，負荷越大，殼體膨脹越厲害，軸間距加大，所以間隙會(huì )增大。

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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子真空泵 真空泵機組維修

分子泵的維修方法有更換前級泵，更換后級泵。這個(gè)辦法是由于前級泵在運行時(shí)，其軸承磨損,轉速大等原因造成。所以要注意保持軸承的平衡,保證軸承不會(huì )磨損。如果發(fā)現轉子軸承出現題,可以用儀器檢查，檢查后要及時(shí)更換。如果發(fā)生故障,應立即停止工作。真空泵機組維修

分子泵運行超過(guò)3年后,會(huì )出現油棉變黑、轉子不穩等，請您到分子泵維修廠(chǎng)家去檢測.分析分子泵是一種高壓泵,它具有很大的工作頻率和較好的動(dòng)態(tài)性能，它可以保證在正常運行狀態(tài)下工作。真空泵機組維修

油脂潤滑和脂潤滑分子泵也統稱(chēng)為機械軸承分子泵。并且其油或者油脂的性能必須具備以下三個(gè)條件，才能滿(mǎn)足泵的工作要求：真空泵機組維修

a. 高速下具備良好的潤滑性能；

b. 飽和蒸氣壓低于前級泵工作液的飽和蒸氣壓．

c. 粘度適當，使之兼有軸承冷卻液的作用。

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廣州潽拓光電科技有限公司——阿爾卡特渦輪分子真空泵 上海維修真空泵

分子泵轉速過(guò)高，軸承磨損。這種情況主要集中在轉矩和軸承兩個(gè)部件上。轉矩和軸承兩個(gè)部件不穩定。這種情況主要集中在軸承磨損。分析原因有1)油棉變黑了,發(fā)黃,轉速限定解決方法用電腦檢測分子泵運行狀態(tài)，可以判斷出油棉變黑了。上海維修真空泵

對真空設備而言，非接觸懸浮是很有吸引力的。電磁軸承應用于渦輪分子泵，可實(shí)現分子泵的無(wú)油、無(wú)磨損運行，運行安靜，振動(dòng)ji小，尤其適合半導體工業(yè)等超凈高真空應用場(chǎng)合。上海維修真空泵

還有一種冒煙的原因就是，真空泵在使用了一定的時(shí)間后，由于沒(méi)有對泵做好日常的維護保養工作，使得排氣口處冒出了油煙。這其實(shí)是真空泵的排氣過(guò)濾器失效了，要知道的是，真空泵排氣過(guò)濾器，是一個(gè)屬于耗材料類(lèi)配件，在真空泵里面起到油氣分離作用，可以防止真空泵油隨著(zhù)尾氣排出真空泵泵體。把過(guò)濾下來(lái)的真空泵油沉淀下來(lái)回流到油箱里，當排氣過(guò)濾器失效時(shí)，排氣過(guò)濾器就起不到過(guò)濾作用。上海維修真空泵

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