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廣州潽拓光電——

結構組成：渦輪分子泵主要由泵體、帶葉片的轉子（即動(dòng)葉輪）、靜葉輪和驅動(dòng)系統等組成。

工作原理：

 主要有立式和臥式兩種。

動(dòng)葉輪外緣的線(xiàn)速度高達氣體分子熱運動(dòng)的速度（一般為150～400米/秒）。單個(gè)葉輪的壓縮比很小，渦輪分子泵要由十多個(gè)動(dòng)葉輪和靜葉輪組成。動(dòng)葉輪和靜葉輪交替排列。動(dòng)、靜葉輪幾何尺寸基本相同,但葉片傾斜角相反。圖為20個(gè)動(dòng)葉輪組成的整體式轉子。每?jì)蓚€(gè)動(dòng)葉輪之間裝一個(gè)靜葉輪。靜葉輪外緣用環(huán)固定并使動(dòng)、靜葉輪間保持1毫米左右的間隙,動(dòng)葉輪可在靜葉輪間自由旋轉。

特點(diǎn)：抽速大、無(wú)油、啟動(dòng)快、無(wú)油污染、維護簡(jiǎn)單

工作范圍：清潔的低真空~中、高真空，大氣~超高真空極限真空：10-6/ 10-10torr

缺點(diǎn)：結構復雜、對軸承耐磨程度要求高、制造成本高 

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視頻作者：廣州潽拓光電科技有限公司

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